Silikonkarbied Keramiek Chuck vir SiC saffier Si GAAs Wafer

Kort beskrywing:

Die Silikonkarbied Keramiek Chuck is 'n hoëprestasieplatform wat ontwerp is vir halfgeleierinspeksie, wafervervaardiging en bindingstoepassings. Gebou met gevorderde keramiekmateriale - insluitend gesinterde SiC (SSiC), reaksiegebonde SiC (RSiC), silikonnitried en aluminiumnitried - bied dit hoë styfheid, lae termiese uitsetting, uitstekende slytasieweerstand en lang dienslewe.

Stuur e-pos aan ons

Kenmerke

Gedetailleerde Diagram

Oorsig van Silikonkarbied (SiC) Keramiek Chuck

DieSilikonkarbied Keramiek Chuckis 'n hoëprestasieplatform wat ontwerp is vir halfgeleierinspeksie, wafervervaardiging en bindingstoepassings. Gebou met gevorderde keramiekmateriale—insluitendgesinterde SiC (SSiC), reaksiegebonde SiC (RSiC), silikon nitried, enaluminiumnitried—dit biedhoë styfheid, lae termiese uitsetting, uitstekende slytasieweerstand en lang dienslewe.

Met presisie-ingenieurswese en moderne polering lewer die boorkopsub-mikron platheid, spieëlgehalte-oppervlaktes en langtermyn dimensionele stabiliteit, wat dit die ideale oplossing vir kritieke halfgeleierprosesse maak.

Belangrike voordele

Hoë Presisie
Platheid beheer binne0.3–0.5 μm, wat waferstabiliteit en konsekwente prosesakkuraatheid verseker.
Spieëlpolering
BereikRa 0.02 μmoppervlakruheid, wat waferskrape en kontaminasie tot die minimum beperk—perfek vir ultra-skoon omgewings.
Ultraliggewig
Sterker maar ligter as kwarts- of metaalsubstrate, wat bewegingsbeheer, responsiwiteit en posisioneringsakkuraatheid verbeter.
Hoë Styfheid
Uitsonderlike Young se modulus verseker dimensionele stabiliteit onder swaar laste en hoëspoedwerking.
Lae Termiese Uitbreiding
CTE stem nou ooreen met silikonwafers, wat termiese spanning verminder en prosesbetroubaarheid verbeter.
Uitstaande slytasieweerstand
Uiterste hardheid behou platheid en presisie, selfs onder langdurige, hoëfrekwensie gebruik.

Vervaardigingsproses

Voorbereiding van rou materiaal
Hoë-suiwerheid SiC-poeiers met beheerde deeltjiegrootte en ultra-lae onsuiwerhede.
Vorming en Sintering
Tegnieke soosdruklose sintering (SSiC) or reaksiebinding (RSiC)produseer digte, eenvormige keramiek substrate.
Presisiebewerking
CNC-slypwerk, lasersnywerk en ultra-presisie-bewerking bereik ±0.01 mm toleransie en ≤3 μm parallelisme.
Oppervlakbehandeling
Meerstadium-slyp en poleer tot Ra 0.02 μm; opsionele bedekkings beskikbaar vir korrosiebestandheid of aangepaste wrywingseienskappe.
Inspeksie en Gehaltebeheer
Interferometers en ruheidtoetsers verifieer voldoening aan halfgeleiergraadspesifikasies.

Tegniese Spesifikasies

Parameter	Waarde	Eenheid
Platheid	≤0.5	μm
Wafelgroottes	6'', 8'', 12'' (pasgemaak beskikbaar)	—
Oppervlaktipe	Pentipe / Ringtipe	—
Speldhoogte	0.05–0.2	mm
Min. pendiameter	ϕ0.2	mm
Min. penafstand	3	mm
Min. seëlringwydte	0.7	mm
Oppervlakruheid	Ra 0.02	μm
Diktetoleransie	±0.01	mm
Diametertoleransie	±0.01	mm
Parallelisme-toleransie	≤3	μm

Hooftoepassings

Halfgeleierwafer-inspeksietoerusting
Wafervervaardiging en oordragstelsels
Waferbinding- en verpakkingsgereedskap
Gevorderde vervaardiging van opto-elektroniese toestelle
Presisie-instrumente wat ultra-plat, ultra-skoon oppervlaktes benodig

V&A – Silikonkarbied Keramiek Chuck

V1: Hoe vergelyk SiC-keramiek-klauwplate met kwarts- of metaal-klauwplate?
A1: SiC-klauwplate is ligter, stywer en het 'n CTE naby aan silikonwafers, wat termiese vervorming tot die minimum beperk. Hulle bied ook beter slytasieweerstand en langer lewensduur.

V2: Watter platheid kan bereik word?
A2: Beheer binne0.3–0.5 μm, wat voldoen aan die streng eise van halfgeleierproduksie.

V3: Sal die oppervlak wafers krap?
A3: Nee—spieëlgepoleer totRa 0.02 μm, wat krasvrye hantering en verminderde deeltjiegenerering verseker.

V4: Watter wafergroottes word ondersteun?
A4: Standaardgroottes van6'', 8'' en 12'', met aanpassing beskikbaar.

V5: Hoe is die termiese weerstand?
A5: SiC-keramiek bied uitstekende hoëtemperatuurprestasie met minimale vervorming onder termiese siklusse.

Oor Ons

XKH spesialiseer in hoëtegnologie-ontwikkeling, produksie en verkope van spesiale optiese glas en nuwe kristalmateriale. Ons produkte bedien optiese elektronika, verbruikerselektronika en die weermag. Ons bied saffier optiese komponente, selfoonlensdeksels, keramiek, LT, silikonkarbied SIC, kwarts en halfgeleierkristalwafers. Met bekwame kundigheid en moderne toerusting, blink ons uit in nie-standaard produkverwerking, met die doel om 'n toonaangewende hoëtegnologie-onderneming vir opto-elektroniese materiale te wees.