Tans kan ons maatskappy voortgaan om klein groepie 8inchN tipe SiC-wafers te verskaf, as u monsterbehoeftes het, kontak my asseblief.Ons het 'n paar voorbeeldwafers gereed om te verskeep.
Op die gebied van halfgeleiermateriale het die maatskappy 'n groot deurbraak gemaak in die navorsing en ontwikkeling van groot grootte SiC-kristalle.Deur sy eie saadkristalle te gebruik na verskeie rondes van deursnee-vergroting, het die maatskappy suksesvol 8-duim N-tipe SiC-kristalle gekweek, wat moeilike probleme soos ongelyke temperatuurveld, kristalkrake en gasfase-grondstofverspreiding in die groeiproses van 8-duim SIC-kristalle, en versnel die groei van groot grootte SIC-kristalle en die outonome en beheerbare verwerkingstegnologie.Verbeter die maatskappy se kernmededingendheid in die SiC-enkelkristalsubstraatbedryf aansienlik.Terselfdertyd bevorder die maatskappy aktief die opeenhoping van tegnologie en proses van groot grootte silikonkarbied substraat voorbereiding eksperimentele lyn, versterk die tegniese uitruil en industriële samewerking in stroomop en stroomaf velde, en werk saam met kliënte om voortdurend produkprestasie te herhaal, en gesamentlik bevorder die tempo van industriële toepassing van silikonkarbiedmateriale.
| 8 duim N-tipe SiC DSP spesifikasies | |||||
| Nommer | Item | Eenheid | Produksie | Navorsing | Dummy |
| 1. Parameters | |||||
| 1.1 | politipe | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | oppervlak oriëntasie | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2. Elektriese parameter | |||||
| 2.1 | doopmiddel | -- | n-tipe stikstof | n-tipe stikstof | n-tipe stikstof |
| 2.2 | weerstand | ohm · cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3. Meganiese parameter | |||||
| 3.1 | deursnee | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | dikte | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Kerf oriëntasie | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Kerfdiepte | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Buig | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Skerring | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AGS | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4. Struktuur | |||||
| 4.1 | mikropypdigtheid | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metaal inhoud | atome/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5 000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7 000 | ≤10 000 | NA |
| 5. Positiewe kwaliteit | |||||
| 5.1 | voor | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | Oppervlak afwerking | -- | Si-gesig CMP | Si-gesig CMP | Si-gesig CMP |
| 5.3 | deeltjie | ea/wafer | ≤100 (grootte≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | krap | ea/wafer | ≤5, Totale Lengte≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Rand skyfies / inkepings / krake / vlekke / kontaminasie | -- | Geen | Geen | NA |
| 5.6 | Politipe areas | -- | Geen | Oppervlakte ≤10% | Oppervlakte ≤30% |
| 5.7 | voorste merk | -- | Geen | Geen | Geen |
| 6. Rugkwaliteit | |||||
| 6.1 | agterste afwerking | -- | C-gesig LP | C-gesig LP | C-gesig LP |
| 6.2 | krap | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Rugdefekte rand skyfies/inkepings | -- | Geen | Geen | NA |
| 6.4 | Rugheid | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Rugmerk | -- | Kerf | Kerf | Kerf |
| 7. Rand | |||||
| 7.1 | rand | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8. Pakket | |||||
| 8.1 | verpakking | -- | Epi-gereed met vakuum verpakking | Epi-gereed met vakuum verpakking | Epi-gereed met vakuum verpakking |
| 8.2 | verpakking | -- | Multi-wafer kassetverpakking | Multi-wafer kassetverpakking | Multi-wafer kassetverpakking |
Postyd: 18-Apr-2023