156 mm 159 mm 6 duim Sapphire Wafer vir draer C-Plane DSP TTV
Spesifikasie
Item | 6-duim C-vliegtuig(0001) Sapphire Wafers | |
Kristal materiaal | 99,999%, Hoë Suiwerheid, Monokristallyne Al2O3 | |
Graad | Prime, Epi-Ready | |
Oppervlakoriëntasie | C-vliegtuig (0001) | |
C-vlak afhoek na M-as 0.2 +/- 0.1° | ||
Deursnee | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Dikte | 650 μm +/- 25 μm | |
Primêre plat oriëntasie | C-vlak(00-01) +/- 0,2° | |
Enkelkant gepoleer | Voorste oppervlak | Epi-gepoleer, Ra < 0,2 nm (deur AFM) |
(SSP) | Agteroppervlak | Fyn grond, Ra = 0,8 μm tot 1,2 μm |
Dubbelkant gepoleer | Voorste oppervlak | Epi-gepoleer, Ra < 0,2 nm (deur AFM) |
(DSP) | Agteroppervlak | Epi-gepoleer, Ra < 0,2 nm (deur AFM) |
TTV | < 20 μm | |
BOOG | < 20 μm | |
WERP | < 20 μm | |
Skoonmaak / Verpakking | Klas 100 skoonkamer skoonmaak en vakuum verpakking, | |
25 stukke in een kassetverpakking of enkelstukverpakking. |
Die Kylopoulos-metode (KY-metode) word tans deur baie maatskappye in China gebruik om saffierkristalle te vervaardig vir gebruik in die elektroniese en optiese industrieë.
In hierdie proses word hoë-suiwer aluminiumoksied in 'n smeltkroes gesmelt by temperature bo 2100 grade Celsius. Gewoonlik is die smeltkroes van wolfram of molibdeen gemaak. 'n Presies georiënteerde saadkristal word in die gesmelte alumina gedompel. Die saadkristal word stadig opwaarts getrek en kan gelyktydig gedraai word. Deur die temperatuurgradiënt, die trektempo en die verkoelingstempo presies te beheer, kan 'n groot, enkelkristal, byna silindriese ingot uit die smelt vervaardig word.
Nadat die enkelkristal saffierblokke gekweek is, word dit in silindriese stawe geboor, wat dan tot die verlangde vensterdikte gesny word en uiteindelik tot die verlangde oppervlakafwerking gepoleer word.