2 duim 4 duim 6 duim Gepatroneerde Saffier Substraat (PSS) waarop GaN-materiaal gekweek word, kan vir LED-beligting gebruik word

Kort beskrywing:

Gepatroneerde saffiersubstraat (PSS) is 'n masker vir droë etsing op die saffiersubstraat. Die masker word met 'n patroon gegraveer deur 'n standaard litografieproses, en dan word die saffier geëts deur ICP-etstegnologie, en die masker word verwyder, en uiteindelik word GaN-materiaal daarop gekweek, sodat die longitudinale epitaksie van GaN-materiaal horisontale epitaksie word. Hierdie proses behels verskeie stappe soos fotoresistbedekking, stapsgewyse blootstelling, ontwikkeling van blootstellingspatroon, ICP-droë etsing en skoonmaak.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk-etikette

Hoofkenmerke

1. Strukturele eienskappe:
Die PSS-oppervlak het 'n ordelike keël- of driehoekige koniese patroon waarvan die vorm, grootte en verspreiding beheer kan word deur die etsprosesparameters aan te pas.
Hierdie grafiese strukture help om die voortplantingspad van lig te verander en die totale weerkaatsing van lig te verminder, wat die doeltreffendheid van ligonttrekking verbeter.

2. Materiaaleienskappe:
PSS gebruik hoë kwaliteit saffier as substraatmateriaal, wat die eienskappe van hoë hardheid, hoë termiese geleidingsvermoë, goeie chemiese stabiliteit en optiese deursigtigheid het.
Hierdie eienskappe stel PSS in staat om strawwe omgewings soos hoë temperature en druk te weerstaan terwyl uitstekende optiese werkverrigting gehandhaaf word.

3. Optiese werkverrigting:
Deur die veelvuldige verstrooiing by die koppelvlak tussen GaN en saffiersubstraat te verander, gee PSS die fotone wat volledig binne die GaN-laag gereflekteer word, 'n kans om van die saffiersubstraat te ontsnap.
Hierdie kenmerk verbeter die ligonttrekkingsdoeltreffendheid van die LED aansienlik en verhoog die ligintensiteit van die LED.

4. Proseseienskappe:
Die vervaardigingsproses van PSS is relatief kompleks, wat verskeie stappe soos litografie en ets behels, en vereis hoë-presisie toerusting en prosesbeheer.
Met die voortdurende vooruitgang van tegnologie en die vermindering van koste word die vervaardigingsproses van PSS egter geleidelik geoptimaliseer en verbeter.

Kernvoordeel

1. Verbeter ligonttrekkingsdoeltreffendheid: PSS verbeter die ligonttrekkingsdoeltreffendheid van LED aansienlik deur die ligvoortplantingspad te verander en totale weerkaatsing te verminder.

2. Verleng LED-lewe: PSS kan die ontwrigtingsdigtheid van GaN-epitaksiale materiale verminder, waardeur die nie-stralende rekombinasie en omgekeerde lekstroom in die aktiewe gebied verminder word, wat die lewensduur van die LED verleng.

3. Verbeter LED-helderheid: As gevolg van die verbetering van ligonttrekkingsdoeltreffendheid en die verlenging van LED-lewe, word die LED-ligintensiteit op die PSS aansienlik verhoog.

4. Verminder produksiekoste: Alhoewel die vervaardigingsproses van PSS relatief kompleks is, kan dit die ligdoeltreffendheid en lewensduur van LED aansienlik verbeter, waardeur produksiekoste tot 'n sekere mate verminder word en die mededingendheid van die produk verbeter word.

Hooftoepassingsgebiede

1. LED-beligting: PSS as substraatmateriaal vir LED-skyfies kan die ligdoeltreffendheid en lewensduur van LED aansienlik verbeter.
In die veld van LED-beligting word PSS wyd gebruik in verskeie beligtingsprodukte, soos straatlampe, tafellampe, motorligte en so aan.

2. Halfgeleiertoestelle: Benewens LED-beligting, kan PSS ook gebruik word om ander halfgeleiertoestelle te vervaardig, soos ligdetektors, lasers, ens. Hierdie toestelle het 'n wye reeks toepassings in kommunikasie, mediese, militêre en ander velde.

3. Opto-elektroniese integrasie: Die optiese eienskappe en stabiliteit van PSS maak dit een van die ideale materiale op die gebied van opto-elektroniese integrasie. In opto-elektroniese integrasie kan PSS gebruik word om optiese golfgidse, optiese skakelaars en ander komponente te maak om die oordrag en verwerking van optiese seine te verwesenlik.

Tegniese parameters

Item	Gepatroneerde Saffier Substraat (2~6 duim)
Deursnee	50.8 ± 0.1 mm	100.0 ± 0.2 mm	150.0 ± 0.3 mm
Dikte	430 ± 25μm	650 ± 25μm	1000 ± 25μm
Oppervlakoriëntasie	C-vlak (0001) hoekafwyking na M-as (10-10) 0.2 ± 0.1°
	C-vlak (0001) skuins na die A-as (11-20) 0 ± 0.1°
Primêre Plat Oriëntasie	A-vlak (11-20) ± 1.0°
Primêre plat lengte	16.0 ± 1.0 mm	30.0 ± 1.0 mm	47.5 ± 2.0 mm
R-Vliegtuig	9-uur
Voorste oppervlakafwerking	Gepatroneer
Agteroppervlak afwerking	SSP: Fyngeslyp, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-gepoleer, Ra<0.3nm
Lasermerk	Agterkant
TTV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
BOOG	≤10μm	≤15μm	≤25μm
WARP	≤12μm	≤20μm	≤30μm
Randuitsluiting	≤2 mm
Patroonspesifikasie	Vormstruktuur	Koepel, Keël, Piramide
	Patroonhoogte	1.6~1.8μm
	Patroondiameter	2.75~2.85μm
	Patroonruimte	0.1~0.3μm

XKH fokus op die ontwikkeling, produksie en verkope van gepatroneerde saffiersubstrate (PSS), en is daartoe verbind om hoëgehalte, hoëprestasie PSS-produkte aan kliënte regoor die wêreld te verskaf. XKH het gevorderde vervaardigingstegnologie en 'n professionele tegniese span wat PSS-produkte met verskillende spesifikasies en verskillende patroonstrukture volgens kliëntebehoeftes kan aanpas. Terselfdertyd gee XKH aandag aan produkgehalte en diensgehalte, en is daartoe verbind om kliënte 'n volledige reeks tegniese ondersteuning en oplossings te bied. Op die gebied van PSS het XKH ryk ervaring en voordele opgebou, en sien uit daarna om saam met wêreldwye vennote te werk om gesamentlik die innoverende ontwikkeling van LED-beligting, halfgeleiertoestelle en ander nywerhede te bevorder.