2 duim 4 duim 6 duim patroon saffier substraat (PSS) waarop GaN -materiaal gekweek word, kan gebruik word vir LED -beligting

Kort beskrywing:

Patroon -sapphire -substraat (PSS) is 'n masker vir droë ets op die saffier -substraat, die masker word met 'n patroon deur standaard litografieproses gegraveer, en dan word die saffier geëtseer deur ICP -ets -tegnologie, en die masker word verwyder, en uiteindelik word GAN -materiaal op dit gekweek, sodat die longitudinale epitaxy van Gan -materiaal Horizontal word. Hierdie proses behels verskeie stappe soos fotoresistbedekking, stapblootstelling, die ontwikkeling van blootstellingspatroon, ICP -droë ets en skoonmaak.

Stuur e -pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk tags

Belangrikste kenmerke

1. Strukturele eienskappe:
Die PSS -oppervlak het 'n ordelike keël of driehoekige koniese patroon waarvan die vorm, grootte en verspreiding beheer kan word deur die etsprosesparameters aan te pas.
Hierdie grafiese strukture help om die voortplantingspad van lig te verander en die totale weerkaatsing van lig te verminder, en sodoende die doeltreffendheid van ligontginning te verbeter.

2. Materiële eienskappe:
PSS gebruik saffier van hoë gehalte as die substraatmateriaal, wat die eienskappe van hoë hardheid, hoë termiese geleidingsvermoë, goeie chemiese stabiliteit en optiese deursigtigheid het.
Hierdie eienskappe stel PSS in staat om harde omgewings soos hoë temperature en druk te weerstaan, terwyl dit uitstekende optiese werkverrigting behou.

3. Optiese uitvoering:
Deur die veelvuldige verstrooiing by die koppelvlak tussen GaN en Sapphire -substraat te verander, maak PSS die fotone wat heeltemal in die GaN -laag weerspieël word, die kans het om van die saffier -substraat te ontsnap.
Hierdie funksie verbeter die lig -ekstraksiedoeltreffendheid van die LED aansienlik en verhoog die ligintensiteit van die LED.

4. Proseskenmerke:
Die vervaardigingsproses van PSS is relatief ingewikkeld, wat verskeie stappe soos litografie en ets behels, en benodig toerusting met hoë presisie en prosesbeheer.
Met die voortdurende bevordering van tegnologie en die vermindering van koste, word die vervaardigingsproses van PSS egter geleidelik geoptimaliseer en verbeter.

Kernvoordeel

1. Verbeter ligte ekstraksiedoeltreffendheid: PSS verbeter die lig -ekstraksiedoeltreffendheid van LED aansienlik deur die ligte voortplantingspad te verander en totale weerkaatsing te verminder.

2. Beklee LED-lewe: PSS kan die ontwrigtingsdigtheid van GAN-epitaksiale materiale verminder, waardeur die nie-stradiatiewe rekombinasie en omgekeerde lekkasie in die aktiewe streek verminder word, wat die leeftyd van LED verleng.

3. Verbeter die LED -helderheid: as gevolg van die verbetering van die doeltreffendheid van ligte ekstraksie en die verlenging van die LED -lewe, word die LED -ligintensiteit op die PSS aansienlik verbeter.

4. Verminder produksiekoste: Alhoewel die vervaardigingsproses van PSS relatief ingewikkeld is, kan dit die ligte doeltreffendheid en die lewe van LED aansienlik verbeter, waardeur die produksiekoste tot 'n sekere mate verlaag word en die mededingendheid van die produk verbeter.

Belangrike toepassingsareas

1. LED -beligting: PSS as 'n substraatmateriaal vir LED -skyfies, kan die ligte doeltreffendheid en die lewe van LED aansienlik verbeter.
Op die gebied van LED -beligting word PSS wyd gebruik in verskillende beligtingsprodukte, soos straatlampe, tafellampe, motorligte en so aan.

2. Semiconductor -toestelle: Benewens LED -beligting, kan PSS ook gebruik word om ander halfgeleiertoestelle te vervaardig, soos ligdetektors, lasers, ens. Hierdie toestelle het 'n wye verskeidenheid toepassings in kommunikasie, mediese, militêre en ander velde.

3.Opto -elektroniese integrasie: Die optiese eienskappe en stabiliteit van PSS maak dit een van die ideale materiale op die gebied van opto -elektroniese integrasie. In opto -elektroniese integrasie kan PSS gebruik word om optiese golfleiers, optiese skakelaars en ander komponente te maak om die oordrag en verwerking van optiese seine te realiseer.

Tegniese parameters

Item	Patroon -saffier -substraat (2 ~ 6 inch)
Deursnit	50,8 ± 0,1 mm	100,0 ± 0,2 mm	150,0 ± 0,3 mm
Dikte	430 ± 25μm	650 ± 25μm	1000 ± 25μm
Oppervlakoriëntasie	C-vlak (0001) van die hoek af na M-as (10-10) 0,2 ± 0,1 °
	C-vlak (0001) van die hoek af na A-as (11-20) 0 ± 0,1 °
Primêre plat oriëntasie	A-vlak (11-20) ± 1,0 °
Primêre plat lengte	16,0 ± 1,0 mm	30,0 ± 1,0 mm	47,5 ± 2,0 mm
R-vlak	9-O'Clok
Vooroppervlakte afwerking	Patroon
Agteroppervlakte afwerking	Ssp: fyn grond, ra = 0,8-1,2um; DSP: EPI-gepoleer, RA <0,3nM
Laser Mark	Agterkant
TTV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
Strik	≤10μm	≤ 15μm	≤ 25μm
Warp	≤ 12μm	≤20μm	≤30μm
Randuitsluiting	≤2 mm
Patroonspesifikasie	Vormstruktuur	Koepel, keël, piramide
	Patroonhoogte	1,6 ~ 1,8μm
	Patroon deursnee	2,75 ~ 2,85μm
	Patroonruimte	0,1 ~ 0,3μm

XKH fokus op die ontwikkeling, produksie en verkope van patroon-sapphire-substraat (PSS), en is daartoe verbind om hoë kwaliteit, hoëprestasie-PSS-produkte aan kliënte regoor die wêreld te bied. XKH het gevorderde vervaardigingstegnologie en professionele tegniese span, wat PSS -produkte kan aanpas met verskillende spesifikasies en verskillende patroonstrukture volgens die behoeftes van die kliënt. Terselfdertyd gee XKH aandag aan die kwaliteit van die produk en die kwaliteit van die diens, en is hy daartoe verbind om kliënte 'n volledige reeks tegniese ondersteuning en oplossings te bied. Op die gebied van PSS het XKH ryk ervaring en voordele opgehoop en sien uit daarna om saam met wêreldvennote saam te werk om die innoverende ontwikkeling van LED -beligting, halfgeleiertoestelle en ander nywerhede gesamentlik te bevorder.