3 duim hoë suiwerheid semi-isolerende (HPSI)SiC wafer 350um Dummy graad Prime graad
Toepassing
HPSI SiC-wafers is deurslaggewend om die volgende generasie kragtoestelle moontlik te maak, wat in 'n verskeidenheid hoëprestasietoepassings gebruik word:
Kragomskakelingstelsels: SiC-wafers dien as die kernmateriaal vir kragtoestelle soos krag-MOSFET's, diodes en IGBT's, wat noodsaaklik is vir doeltreffende kragomsetting in elektriese stroombane. Hierdie komponente word gevind in hoë-doeltreffende kragbronne, motoraandrywings en industriële omsetters.
Elektriese voertuie (EV's):Die groeiende vraag na elektriese voertuie noodsaak die gebruik van meer doeltreffende kragelektronika, en SiC-wafers is aan die voorpunt van hierdie transformasie. In EV-aandrywingstelsels bied hierdie wafers hoë doeltreffendheid en vinnige skakelvermoë, wat bydra tot vinniger laaitye, langer reikafstand en verbeterde algehele voertuigverrigting.
Hernubare Energie:In hernubare energiestelsels soos son- en windkrag word SiC-wafers in omsetters en omsetters gebruik wat meer doeltreffende energie-opvang en verspreiding moontlik maak. Die hoë termiese geleidingsvermoë en uitstekende afbreekspanning van SiC verseker dat hierdie stelsels betroubaar werk, selfs onder uiterste omgewingstoestande.
Industriële outomatisering en robotika:Hoëprestasie-kragelektronika in industriële outomatiseringstelsels en robotika vereis toestelle wat vinnig kan skakel, groot kragladings kan hanteer en onder hoë spanning kan werk. SiC-gebaseerde halfgeleiers voldoen aan hierdie vereistes deur hoër doeltreffendheid en robuustheid te bied, selfs in moeilike bedryfsomgewings.
Telekommunikasiestelsels:In telekommunikasie-infrastruktuur, waar hoë betroubaarheid en doeltreffende energie-omsetting van kritieke belang is, word SiC-wafers in kragbronne en GS-GS-omsetters gebruik. SiC-toestelle help om energieverbruik te verminder en stelselwerkverrigting in datasentrums en kommunikasienetwerke te verbeter.
Deur 'n robuuste grondslag vir hoëkragtoepassings te bied, maak die HPSI SiC-wafer die ontwikkeling van energiedoeltreffende toestelle moontlik, wat nywerhede help om oor te skakel na groener, meer volhoubare oplossings.
Eienskappe
operiteit | Produksiegraad | Navorsingsgraad | Dummy Graad |
Deursnee | 75,0 mm ± 0,5 mm | 75,0 mm ± 0,5 mm | 75,0 mm ± 0,5 mm |
Dikte | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm | 350 µm ± 25 µm |
Wafer oriëntasie | Op as: <0001> ± 0.5° | Op as: <0001> ± 2.0° | Op as: <0001> ± 2.0° |
Mikropypdigtheid vir 95% van wafers (MPD) | ≤ 1 cm⁻² | ≤ 5 cm⁻² | ≤ 15 cm⁻² |
Elektriese weerstand | ≥ 1E7 Ω·cm | ≥ 1E6 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm |
Dopant | Ongedoteer | Ongedoteer | Ongedoteer |
Primêre plat oriëntasie | {11-20} ± 5,0° | {11-20} ± 5,0° | {11-20} ± 5,0° |
Primêre plat lengte | 32,5 mm ± 3,0 mm | 32,5 mm ± 3,0 mm | 32,5 mm ± 3,0 mm |
Sekondêre plat lengte | 18,0 mm ± 2,0 mm | 18,0 mm ± 2,0 mm | 18,0 mm ± 2,0 mm |
Sekondêre plat oriëntasie | Si gesig na bo: 90° CW vanaf primêre woonstel ± 5.0° | Si gesig na bo: 90° CW vanaf primêre woonstel ± 5.0° | Si gesig na bo: 90° CW vanaf primêre woonstel ± 5.0° |
Rand-uitsluiting | 3 mm | 3 mm | 3 mm |
LTV/TTV/Boog/Warp | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm | 5 µm / 15 µm / ±40 µm / 45 µm |
Oppervlakruwheid | C-vlak: Gepoleer, Si-vlak: CMP | C-vlak: Gepoleer, Si-vlak: CMP | C-vlak: Gepoleer, Si-vlak: CMP |
Krake (inspekteer deur hoë intensiteit lig) | Geen | Geen | Geen |
Hex Plate (geïnspekteer deur hoë intensiteit lig) | Geen | Geen | Kumulatiewe oppervlakte 10% |
Politipe gebiede (geïnspekteer deur hoë intensiteit lig) | Kumulatiewe oppervlakte 5% | Kumulatiewe oppervlakte 5% | Kumulatiewe oppervlakte 10% |
Skrape (inspekteer deur hoë intensiteit lig) | ≤ 5 skrape, kumulatiewe lengte ≤ 150 mm | ≤ 10 skrape, kumulatiewe lengte ≤ 200 mm | ≤ 10 skrape, kumulatiewe lengte ≤ 200 mm |
Randafsplintering | Geen toegelaat nie ≥ 0.5 mm breedte en diepte | 2 toegelaat, ≤ 1 mm breedte en diepte | 5 toegelaat, ≤ 5 mm breedte en diepte |
Oppervlakbesoedeling (geïnspekteer deur hoë intensiteit lig) | Geen | Geen | Geen |
Sleutel voordele
Uitstekende termiese werkverrigting: SiC se hoë termiese geleidingsvermoë verseker doeltreffende hitte-afvoer in kragtoestelle, wat hulle in staat stel om teen hoër kragvlakke en frekwensies te werk sonder om te oorverhit. Dit kom neer op kleiner, meer doeltreffende stelsels en langer operasionele lewensduur.
Hoë afbreekspanning: Met 'n groter bandgaping in vergelyking met silikon, ondersteun SiC-wafers hoëspanningtoepassings, wat hulle ideaal maak vir krag elektroniese komponente wat hoë afbreekspannings moet weerstaan, soos in elektriese voertuie, netwerkkragstelsels en hernubare energiestelsels.
Verminderde kragverlies: Die lae aanweerstand en vinnige skakelspoed van SiC-toestelle lei tot verminderde energieverlies tydens werking. Dit verbeter nie net doeltreffendheid nie, maar verhoog ook die algehele energiebesparing van stelsels waarin hulle ontplooi word.
Verbeterde betroubaarheid in moeilike omgewings: SiC se robuuste materiaal eienskappe laat dit toe om te presteer in uiterste toestande, soos hoë temperature (tot 600 ° C), hoë spanning en hoë frekwensies. Dit maak SiC-wafers geskik vir veeleisende industriële, motor- en energietoepassings.
Energiedoeltreffendheid: SiC-toestelle bied 'n hoër kragdigtheid as tradisionele silikongebaseerde toestelle, wat die grootte en gewig van kragelektroniese stelsels verminder, terwyl hul algehele doeltreffendheid verbeter word. Dit lei tot kostebesparings en 'n kleiner omgewingsvoetspoor in toepassings soos hernubare energie en elektriese voertuie.
Skaalbaarheid: Die 3-duim-deursnee en presiese vervaardigingstoleransies van die HPSI SiC-wafer verseker dat dit skaalbaar is vir massaproduksie, en voldoen aan beide navorsings- en kommersiële vervaardigingsvereistes.
Gevolgtrekking
Die HPSI SiC-wafer, met sy 3-duim deursnee en 350 µm ± 25 µm dikte, is die optimale materiaal vir die volgende generasie hoë-prestasie krag elektroniese toestelle. Die unieke kombinasie van termiese geleidingsvermoë, hoë afbreekspanning, lae energieverlies en betroubaarheid onder uiterste toestande maak dit 'n noodsaaklike komponent vir verskeie toepassings in kragomskakeling, hernubare energie, elektriese voertuie, industriële stelsels en telekommunikasie.
Hierdie SiC-wafer is veral geskik vir nywerhede wat hoër doeltreffendheid, groter energiebesparings en verbeterde stelselbetroubaarheid wil bereik. Soos kragelektronika-tegnologie voortgaan om te ontwikkel, bied die HPSI SiC-wafer die grondslag vir die ontwikkeling van volgende generasie, energiedoeltreffende oplossings, wat die oorgang na 'n meer volhoubare, lae-koolstof-toekoms dryf.