4 duim SiC-wafers 6H semi-isolerende SiC-substrate prima-, navorsings- en dummy-graad

Kort beskrywing:

Semi-geïsoleerde silikonkarbied substraat word gevorm deur sny, slyp, poleer, skoonmaak en ander verwerkingstegnologieë na die groei van semi-geïsoleerde silikonkarbied kristal. 'n Laag of meerlaag kristallaag word op die substraat gekweek wat aan die kwaliteitsvereistes as epitaksie voldoen, en dan word die mikrogolf RF-toestel gemaak deur die stroombaanontwerp en verpakking te kombineer. Beskikbaar as 2 duim 3 duim 4 duim 6 duim 8 duim industriële, navorsings- en toetsgraad semi-geïsoleerde silikonkarbied enkelkristal substrate.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk-etikette

Produkspesifikasie

Graad			Nul MPD Produksiegraad (Z-graad)			Standaard Produksiegraad (P-graad)		Dummy Graad (D Graad)
Deursnee			99.5 mm~100.0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Wafer Oriëntasie			Van die as af: 4.0° na < 1120 > ±0.5° vir 4H-N, Op die as: < 0001 > ±0.5° vir 4H-SI
	4H-SI		≤1 cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Primêre Plat Oriëntasie		{10-10} ±5.0°
Primêre plat lengte		32.5 mm±2.0 mm
Sekondêre plat lengte		18.0 mm±2.0 mm
Sekondêre Plat Oriëntasie		Silikonvlak na bo: 90° CW. vanaf Prime plat ±5.0°
Randuitsluiting		3 mm
LTV/TTV/Boog/Vervorming		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Ruheid			C-gesig				Pools		Ra≤1 nm
			Si-gesig	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Randkrake deur hoë intensiteit lig		Geen						Kumulatiewe lengte ≤ 10 mm, enkel lengte ≤2 mm
Seskantplate deur hoë-intensiteit lig		Kumulatiewe oppervlakte ≤0.05%						Kumulatiewe oppervlakte ≤0.1%
Politipe-gebiede deur hoë-intensiteit lig		Geen						Kumulatiewe oppervlakte ≤3%
Visuele Koolstofinsluitsels		Kumulatiewe oppervlakte ≤0.05%						Kumulatiewe oppervlakte ≤3%
Silikon oppervlak krap deur hoë intensiteit lig		Geen						Kumulatiewe lengte ≤1＊waferdiameter
Randskyfies Hoë Deur Intensiteit Lig		Geen toegelaat ≥0.2 mm breedte en diepte						5 toegelaat, ≤1 mm elk
Silikon Oppervlakkontaminasie Deur Hoë Intensiteit		Geen
Verpakking		Multi-waferkasset of enkelwaferhouer