4 duim SiC Epi wafer vir MOS of SBD

Kort beskrywing:

SiCC het 'n volledige SiC (Silicon Carbide) wafer substraat produksie lyn, wat kristalgroei, wafel verwerking, wafel vervaardiging, polering, skoonmaak en toetsing integreer. Op die oomblik kan ons aksiale of af-as semi-isolerende en halfgeleidende 4H en 6H SiC wafers met groottes van 5x5mm2, 10x10mm2, 2", 3", 4" en 6" verskaf, wat deur defekonderdrukking breek, kristalsaadproses en vinnige groei en ander Dit het deur die sleuteltegnologieë gebreek soos defekonderdrukking, kristalsaadverwerking en vinnige groei, en het die basiese navorsing en ontwikkeling van silikonkarbiedepitaksie, toestelle en ander verwante basiese navorsing bevorder.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

Epitaksie verwys na die groei van 'n laag van 'n hoër kwaliteit enkelkristal materiaal op die oppervlak van 'n silikonkarbied substraat. Onder hulle word die groei van galliumnitried epitaksiale laag op 'n semi-isolerende silikonkarbiedsubstraat heterogene epitaksie genoem; die groei van 'n silikonkarbied epitaksiale laag op die oppervlak van 'n geleidende silikonkarbied substraat word homogene epitaksie genoem.

Epitaksiale is in ooreenstemming met die toestel ontwerp vereistes van die groei van die belangrikste funksionele laag, bepaal grootliks die prestasie van die chip en die toestel, die koste van 23%. Die hoofmetodes van SiC-dunfilm-epitaksie op hierdie stadium sluit in: chemiese dampneerlegging (CVD), molekulêre bundel-epitaksie (MBE), vloeistoffase-epitaksie (LPE) en gepulseerde laserafsetting en sublimasie (PLD).

Epitaksie is 'n baie kritieke skakel in die hele bedryf. Deur GaN-epitaksiale lae op semi-isolerende silikonkarbiedsubstrate te laat groei, word GaN-epitaksiale wafers gebaseer op silikonkarbied geproduseer, wat verder gemaak kan word in GaN RF-toestelle soos hoë elektronmobiliteitstransistors (HEMTs);

Deur die groei van silikonkarbied epitaksiale laag op geleidende substraat om silikonkarbied epitaksiale wafer te kry, en in die epitaksiale laag op die vervaardiging van Schottky-diodes, goud-suurstof half-veld effek transistors, geïsoleerde hek bipolêre transistors en ander krag toestelle, sodat die kwaliteit van die epitaksiale op die werkverrigting van die toestel is baie groot impak op die ontwikkeling van die bedryf is ook 'n baie kritieke rol speel.