8-duim SiC-produksiegraadwafer 4H-N SiC-substraat
Die volgende tabel toon die spesifikasies van ons 8-duim SiC-wafers:
| 8-duim N-tipe SiC DSP-spesifikasies | |||||
| Nommer | Item | Eenheid | Produksie | Navorsing | Dummy |
| 1:parameters | |||||
| 1.1 | politipe | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | oppervlakoriëntasie | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Elektriese parameter | |||||
| 2.1 | dopmiddel | -- | n-tipe stikstof | n-tipe stikstof | n-tipe stikstof |
| 2.2 | weerstand | ohm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Meganiese parameter | |||||
| 3.1 | deursnee | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | dikte | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Kerf-oriëntasie | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Kerfdiepte | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Boog | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Vervorming | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Struktuur | |||||
| 4.1 | mikropypdigtheid | elk/cm² | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metaalinhoud | atome/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | elk/cm² | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | elk/cm² | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | elk/cm² | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Voorkantkwaliteit | |||||
| 5.1 | voorkant | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | oppervlakafwerking | -- | Si-gesig CMP | Si-gesig CMP | Si-gesig CMP |
| 5.3 | deeltjie | elke/wafel | ≤100 (grootte ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | krap | elke/wafel | ≤5, Totale lengte ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Rand skyfies/duike/krake/vlekke/kontaminasie | -- | Geen | Geen | NA |
| 5.6 | Politipe-gebiede | -- | Geen | Oppervlakte ≤10% | Oppervlakte ≤30% |
| 5.7 | voorste merk | -- | Geen | Geen | Geen |
| 6: Rugkwaliteit | |||||
| 6.1 | agterste afwerking | -- | C-gesig MP | C-gesig MP | C-gesig MP |
| 6.2 | krap | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Agterste defekte rand skyfies/inkeuke | -- | Geen | Geen | NA |
| 6.4 | Rug ruheid | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Agterkantmerk | -- | Kerf | Kerf | Kerf |
| 7:rand | |||||
| 7.1 | rand | -- | Afkanting | Afkanting | Afkanting |
| 8: Pakket | |||||
| 8.1 | verpakking | -- | Epi-gereed met vakuum verpakking | Epi-gereed met vakuum verpakking | Epi-gereed met vakuum verpakking |
| 8.2 | verpakking | -- | Multi-wafer kassetverpakking | Multi-wafer kassetverpakking | Multi-wafer kassetverpakking |
Gedetailleerde Diagram
Skryf jou boodskap hier en stuur dit vir ons