8 duim SiC Produksie graad wafer 4H-N SiC substraat

Kort beskrywing:

8-duim SiC-substrate word gebruik in hoë-krag elektroniese toestelle, soos drywing MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors), Schottky-diodes en ander drywing halfgeleier toestelle.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

Die volgende tabel toon die spesifikasies van ons 8-duim SiC-wafers:

8 duim N-tipe SiC DSP-spesifikasies
Nommer	Item	Eenheid	Produksie	Navorsing	Dummy
1: parameters
1.1	politipe	--	4H	4H	4H
1.2	oppervlak oriëntasie	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: Elektriese parameter
2.1	doopmiddel	--	n-tipe stikstof	n-tipe stikstof	n-tipe stikstof
2.2	weerstand	ohm · cm	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Meganiese parameter
3.1	deursnee	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	dikte	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Kerf oriëntasie	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Kerfdiepte	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Buig	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Skerring	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AGS	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Struktuur
4.1	mikropyp digtheid	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metaal inhoud	atome/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5 000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7 000	≤10 000	NA
5.Voorkant kwaliteit
5.1	voor	--	Si	Si	Si
5.2	Oppervlak afwerking	--	Si-gesig CMP	Si-gesig CMP	Si-gesig CMP
5.3	deeltjie	ea/wafer	≤100 (grootte≥0.3μm)	NA	NA
5.4	krap	ea/wafer	≤5, Totale Lengte≤200mm	NA	NA
5.5	Rand skyfies / inkepings / krake / vlekke / kontaminasie	--	Geen	Geen	NA
5.6	Politipe areas	--	Geen	Oppervlakte ≤10%	Oppervlakte ≤30%
5.7	voorste merk	--	Geen	Geen	Geen
6: Terug kwaliteit
6.1	agterste afwerking	--	C-gesig LP	C-gesig LP	C-gesig LP
6.2	krap	mm	NA	NA	NA
6.3	Rugdefekte rand skyfies/inkepings	--	Geen	Geen	NA
6.4	Rugheid	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Rugmerk	--	Kerf	Kerf	Kerf
7: rand
7.1	rand	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: Pakket
8.1	verpakking	--	Epi-gereed met vakuum verpakking	Epi-gereed met vakuum verpakking	Epi-gereed met vakuum verpakking
8.2	verpakking	--	Multi-wafer kassetverpakking	Multi-wafer kassetverpakking	Multi-wafer kassetverpakking