Dia300x1.0mmt Dikte Saffierwafel C-vlak SSP/DSP

Kort beskrywing:

Shanghai Xinkehui New Material Co., Ltd. kan saffierwafels met verskeie oppervlakoriëntasies (c-, r-, a- en m-vlak) produseer, en die afsnyhoek tot binne 0.1 grade beheer. Deur ons eie tegnologie te gebruik, kan ons die hoë gehalte bereik wat nodig is vir toepassings soos epitaksiale groei en waferbinding.


Produkbesonderhede

Produk-etikette

Bekendstelling van waferboks

Kristalmateriale 99,999% van Al2O3, Hoë Suiwerheid, Monokristallyn, Al2O3
Kristalgehalte Insluitsels, blokmerke, tweelinge, kleur, mikroborrels en verspreidingsentrums bestaan ​​nie.
Deursnee 2 duim 3 duim 4 duim 6 duim ~ 12 duim
50.8± 0.1mm 76.2±0.2mm 100±0.3mm In ooreenstemming met die bepalings van standaardproduksie
Dikte 430±15µm 550±15µm 650±20µm Kan deur die kliënt aangepas word
Oriëntasie C-vlak (0001) na M-vlak (1-100) of A-vlak (11-20) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-vlak (1-102), A-vlak (11-20), M-vlak (1-100), Enige oriëntasie, Enige hoek
Primêre plat lengte 16.0±1mm 22.0±1.0mm 32.5±1.5 mm In ooreenstemming met die bepalings van standaardproduksie
Primêre plat oriëntasie A-vlak (11-20) ± 0.2°      
TTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
LTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
TIR ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
BOOG ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Vervorming ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Vooroppervlak Epi-gepoleer (Ra< 0.2nm)

*Boog: Die afwyking van die middelpunt van die mediaanoppervlak van 'n vrye, ongeklemde wafer vanaf die verwysingsvlak, waar die verwysingsvlak gedefinieer word deur die drie hoeke van 'n gelyksydige driehoek.

*Vervorming: Die verskil tussen die maksimum en minimum afstande van die mediaanoppervlak van 'n vrye, ongeklemde wafer vanaf die verwysingsvlak wat hierbo gedefinieer is.

Hoëgehalte-produkte en -dienste vir volgende generasie halfgeleiertoestelle en epitaksiale groei:

Hoë mate van platheid (beheerde TTV, boog, warp ens.)

Hoëgehalte-skoonmaak (lae deeltjiebesoedeling, lae metaalbesoedeling)

Substraatboor, groefwerk, sny en agterkantpolering

Aanheg van data soos netheid en vorm van substraat (opsioneel)

Indien u saffiersubstrate benodig, kontak gerus:

pos:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Ons sal so gou as moontlik na jou terugkom!

Gedetailleerde Diagram

vcs (2)
vcs (1)

  • Vorige:
  • Volgende:

  • Skryf jou boodskap hier en stuur dit vir ons