Hoëprestasie-alumina-keramiek-eindeffektor (vurkarm) vir halfgeleier- en skoonkameroutomatisering

Kort beskrywing:

Die Alumina Keramiek Eindeffektor, ook bekend as 'n keramiekvurkarm of robotiese keramiekhand, is 'n hoë-presisie hanteringskomponent wat ontwerp is vir outomatiese stelsels in halfgeleier-, fotovoltaïese, paneelvertonings- en hoë-suiwerheid laboratoriumomgewings. Dit is ontwerp om uitsonderlike termiese stabiliteit, meganiese rigiditeit en chemiese weerstand te bied, wat skoon, betroubare en veilige vervoer van sensitiewe materiale soos silikonwafers, glassubstrate en elektroniese mikrokomponente bied.

Stuur e-pos aan ons

Kenmerke

Gedetailleerde Diagram

Produk Inleiding

As 'n tipe robotiese eindeffektor, is hierdie keramiekkomponent die finale koppelvlak tussen die outomatiseringstelsel en die werkstuk. Dit speel 'n kritieke rol in presisie-oordrag, belyning, laai/aflaai en posisioneringstake in skoonkamers en vakuumomgewings.

keramiek-arm-vir-wafer-aandrywing-van-halfgeleiers-G13

keramiek-arm-vir-wafer-aandrywing-van-halfgeleiers-G10

keramiek-arm-vir-wafer-aandrywing-van-halfgeleiers-G07

Materiaaloorsig – Alumina Keramiek (Al₂O₃)

Alumina-keramiek is 'n hoogs stabiele en chemies inerte tegniese keramiekmateriaal wat bekend is vir sy uitstekende meganiese en elektriese eienskappe. Die hoë-suiwerheid (≥ 99.5%) alumina wat in hierdie eindeffektore gebruik word, verseker:

Hoë hardheid (Mohs 9)Naas diamant bied alumina uiterste slytasieweerstand.
HoëtemperatuurvermoëHandhaaf strukturele integriteit bo 1600°C.
Chemiese traagheidBestand teen sure, alkalieë, oplosmiddels en plasma-ets omgewings.
Elektriese isolasieMet hoë diëlektriese sterkte en lae diëlektriese verlies.
Lae termiese uitbreidingVerseker dimensionele stabiliteit in termiese siklusomgewings.
Lae deeltjiegenereringNoodsaaklik vir skoonkamer-versoenbaarheid (Klas 10 tot Klas 1000).

Hierdie eienskappe maak alumina-keramiek ideaal vir missie-kritieke bedrywighede in kontaminasie-sensitiewe nywerhede.

Funksionele Toepassings

Die alumina-keramiek-eindeffektor word wyd gebruik in hoëtegnologiese industriële prosesse, veral waar tradisionele metaal- of plastiekmateriale tekort skiet as gevolg van termiese uitbreiding, kontaminasie of korrosieprobleme. Belangrike toepassingsvelde sluit in:

Halfgeleierwaferoordrag
Fotolitografie laai- en aflaaistelsels
Hantering van glassubstrate in OLED- en LCD-lyne
Kristallyne silikonwafeloordrag in sonselproduksie
Outomatiese optiese of mikro-elektroniese inspeksie
Monstervervoer in analitiese of biomediese laboratoriums
Vakuumomgewing-outomatiseringstelsels

Die vermoë om te presteer sonder om deeltjies of statiese lading in te bring, maak dit onontbeerlik vir presiese robotiese bedrywighede in skoonkameroutomatisering.

Ontwerpkenmerke en aanpassing

Elke keramiek-eindeffektor is ontwerp om by 'n spesifieke robotarm of waferhanteringstelsel te pas. Ons ondersteun volledige aanpassing gebaseer op:

Wafergrootte-versoenbaarheid: 2", 4", 6", 8", 12" en meer
Gleufgeometrie en spasiëringGeskik vir randgreep, agtersteun of gekerfde waferontwerpe
SuigpoorteGeïntegreerde vakuumgate of -kanale vir kontaklose hantering
MonteringskonfigurasieGate, drade, gleuwe aangepas vir jou robot se eindgereedskapflens
OppervlakbehandelingGepoleerde, oorlappende of fyngeslypte afwerking (Ra < 0.2 µm beskikbaar)
RandbeskermingAfgeronde hoeke of afskuining om waferskade te voorkom

Deur CAD-tekeninge of 3D-modelle wat deur kliënte verskaf word, te gebruik, kan ons ingenieurs elke vurkarm optimaliseer vir gewig, sterkte en netheid.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Voordele van Keramiese Eindeffektore

Kenmerk	Voordeel
Hoë Meganiese Styfheid	Handhaaf dimensionele presisie onder robotiese laaikragte
Uitstekende termiese werkverrigting	Presteer betroubaar in hoëtemperatuur- of plasma-omgewings
Nul metaalbesoedeling	Geen risiko van ioonbesmetting in kritieke halfgeleierverwerking nie
Lae wrywingsoppervlak	Verminder krasrisiko op wafer- of glassubstrate
Antistaties en nie-magneties	Trek nie stof aan of beïnvloed magneties-sensitiewe komponente nie
Lang dienslewe	Uitstekende slytasieweerstand in herhalende hoëspoed-outomatiseringsiklusse
Ultra-skoon verenigbaarheid	Geskik vir ISO 14644 skoonkamers (Klas 100 en laer)

In vergelyking met plastiek- of aluminiumarms, bied alumina-keramiek dramaties verbeterde chemiese en fisiese stabiliteit met minimale onderhoudsvereistes.

Eiendom	Metaalarm	Plastiekarm	Alumina Keramiek Arm
Hardheid	Matig	Laag	Baie Hoog (Mohs 9)
Termiese Stabiliteit	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Chemiese Weerstand	Matig	Arm	Uitstekend
Skoonkamer-geskiktheid	Medium	Laag	Baie Hoog
Slytweerstand	Medium	Laag	Uitstaande
Diëlektriese Sterkte	Laag	Medium	Hoog
Pasgemaakte Bewerkingspresisie	Beperk	Matig	Hoog (±0.01mm moontlik)

Tegniese Spesifikasies

Parameter	Waarde
Materiaal	Hoë-suiwerheid alumina (≥ 99.5%)
Werktemperatuur	Tot 1600°C
Oppervlakruheid	Ra ≤ 0.2 µm (opsioneel)
Versoenbare Wafergroottes	2" tot 12" of pasgemaak
Platheidstoleransie	±0.01 mm (toepassingsafhanklik)
Vakuum Suigondersteuning	Opsionele, aanpasbare kanale
Monteringsopsies	Deurbout-, flens-, gleufgate

Gereelde vrae (FAQ)

V1: Kan die eindeffektor in bestaande robotstelsels geïntegreer word?
A1:Ja. Ons ondersteun aanpassing gebaseer op u robotiese koppelvlak. U kan vir ons 'n CAD-tekening of flensafmetings stuur vir presiese aanpassing.

V2: Sal keramiekarms maklik breek tydens gebruik?
A2:Alhoewel keramiek van nature bros is, gebruik ons ontwerpe geoptimaliseerde geometrie om spanningskonsentrasie te verminder. Onder behoorlike gebruiksomstandighede bied hulle aansienlik langer dienslewe as metaal of plastiek.

V3: Is dit moontlik om dit in ultrahoë vakuum- of plasma-etskamers te gebruik?
A3:Ja. Alumina-keramiek gee nie-uitgassend, termies stabiel en korrosiebestand—perfek geskik vir hoëvakuum-, reaktiewe gas- of plasma-omgewings.

V4: Hoe word hierdie komponente skoongemaak of in stand gehou?
A4:Hulle kan skoongemaak word met DI-water, alkohol of skoonmaakmiddels wat versoenbaar is met skoonmaakmiddels. Geen spesiale onderhoud is nodig nie as gevolg van hul chemiese stabiliteit en inerte oppervlak.

Oor Ons

XKH spesialiseer in hoëtegnologie-ontwikkeling, produksie en verkope van spesiale optiese glas en nuwe kristalmateriale. Ons produkte bedien optiese elektronika, verbruikerselektronika en die weermag. Ons bied saffier optiese komponente, selfoonlensdeksels, keramiek, LT, silikonkarbied SIC, kwarts en halfgeleierkristalwafers. Met bekwame kundigheid en moderne toerusting, blink ons uit in nie-standaard produkverwerking, met die doel om 'n toonaangewende hoëtegnologie-onderneming vir opto-elektroniese materiale te wees.