LT Litiumtantalaat (LiTaO3) Kristal 2 duim/3 duim/4 duim/6 duim Oriëntasie Y-42°/36°/108° Dikte 250-500um
Tegniese parameters
Naam | Optiese-graad LiTaO3 | Klanktafelvlak LiTaO3 |
Aksiale | Z-snit + / - 0.2 ° | 36 ° Y-snit / 42 ° Y-snit / X-snit(+ / - 0.2 °) |
Deursnee | 76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
Datumvlak | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
Dikte | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Curie-temperatuur | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA-metode) | 605 °C + / -3 °C (DTA-metode) |
Oppervlakkwaliteit | Dubbelsydige polering | Dubbelsydige polering |
Afgeskuinste rande | randafronding | randafronding |
Belangrike kenmerke
1. Kristalstruktuur en elektriese werkverrigting
· Kristallografiese Stabiliteit: 100% 4H-SiC politipe-dominansie, geen multikristallyne insluitsels (bv. 6H/15R), met XRD-wiegkromme volle breedte by halfmaksimum (FWHM) ≤32.7 boogsek.
· Hoë draermobiliteit: Elektronmobiliteit van 5 400 cm²/V·s (4H-SiC) en gatmobiliteit van 380 cm²/V·s, wat hoëfrekwensie-toestelontwerpe moontlik maak.
·Stralingshardheid: Weerstaan 1 MeV neutronbestraling met 'n verplasingsskadedrempel van 1×10¹⁵ n/cm², ideaal vir lugvaart- en kerntoepassings.
2. Termiese en Meganiese Eienskappe
· Uitsonderlike termiese geleidingsvermoë: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), drie keer dié van silikon, wat werking bo 200°C ondersteun.
· Lae Termiese Uitbreidingskoëffisiënt: CTE van 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C), wat versoenbaarheid met silikon-gebaseerde verpakking verseker en termiese spanning tot die minimum beperk.
3. Defekbeheer en Verwerkingspresisie
· Mikropypdigtheid: <0.3 cm⁻² (8-duim-wafers), ontwrigtingsdigtheid <1 000 cm⁻² (geverifieer via KOH-etsing).
· Oppervlakkwaliteit: CMP-gepoleer tot Ra <0.2 nm, wat voldoen aan EUV-litografiegraad-vlakheidsvereistes.
Sleuteltoepassings
Domein | Toepassingscenario's | Tegniese voordele |
Optiese Kommunikasie | 100G/400G lasers, silikon fotonika hibriede modules | InP-saadsubstrate maak direkte bandgap (1.34 eV) en Si-gebaseerde heteroepitaksie moontlik, wat optiese koppelverlies verminder. |
Nuwe Energie Voertuie | 800V hoëspanning-omsetters, ingeboude laaiers (OBC) | 4H-SiC-substrate weerstaan >1 200 V, wat geleidingsverliese met 50% en stelselvolume met 40% verminder. |
5G Kommunikasie | Millimetergolf RF-toestelle (PA/LNA), basisstasie-kragversterkers | Semi-isolerende SiC-substrate (weerstand >10⁵ Ω·cm) maak hoëfrekwensie (60 GHz+) passiewe integrasie moontlik. |
Industriële Toerusting | Hoëtemperatuursensors, stroomtransformators, kernreaktormonitors | InSb-saadsubstrate (0.17 eV bandgaping) lewer magnetiese sensitiwiteit tot 300%@10 T. |
LiTaO₃-wafels - Belangrike eienskappe
1. Superieure piezo-elektriese werkverrigting
· Hoë piezo-elektriese koëffisiënte (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) maak hoëfrekwensie SAW/BAW-toestelle met invoegverlies <1.5dB vir 5G RF-filters moontlik.
· Uitstekende elektromeganiese koppeling ondersteun filterontwerpe met 'n wye bandwydte (≥5%) vir sub-6GHz- en mmWave-toepassings
2. Optiese Eienskappe
· Breëbanddeursigtigheid (>70% transmissie van 400-5000nm) vir elektro-optiese modulators wat >40GHz bandwydte bereik
· Sterk nie-lineêre optiese vatbaarheid (χ⁽²⁾~30pm/V) fasiliteer doeltreffende tweede harmoniese generasie (SHG) in laserstelsels
3. Omgewingsstabiliteit
· Hoë Curie-temperatuur (600°C) handhaaf piezo-elektriese reaksie in motorgraad-omgewings (-40°C tot 150°C).
· Chemiese traagheid teen sure/alkalieë (pH1-13) verseker betroubaarheid in industriële sensortoepassings
4. Aanpassingsvermoëns
· Oriëntasie-ingenieurswese: X-snit (51°), Y-snit (0°), Z-snit (36°) vir pasgemaakte piezo-elektriese reaksies
· Doteringsopsies: Mg-gedoteer (optiese skadeweerstand), Zn-gedoteer (verbeterde d₃₃)
· Oppervlakafwerkings: Epitaksiaal-gereed polering (Ra<0.5nm), ITO/Au-metallisering
LiTaO₃-wafels - Primêre toepassings
1. RF-voorkantmodules
· 5G NR SAW-filters (Band n77/n79) met temperatuurkoëffisiënt van frekwensie (TCF) <|-15ppm/°C|
· Ultra-wyeband BAW-resonators vir WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Geïntegreerde Fotonika
· Hoëspoed Mach-Zehnder-modulators (>100 Gbps) vir koherente optiese kommunikasie
· QWIP infrarooi detektors met afsnygolflengtes verstelbaar van 3-14μm
3. Motorelektronika
· Ultrasoniese parkeersensors met 'n bedryfsfrekwensie van >200kHz
· TPMS piezo-elektriese transducers wat -40°C tot 125°C termiese siklusse oorleef
4. Verdedigingstelsels
· EW-ontvangerfilters met >60dB buite-band-verwerping
· Missielsoeker IR-vensters wat 3-5μm MWIR-straling uitstuur
5. Opkomende Tegnologieë
· Optomeganiese kwantumtransduktors vir mikrogolf-na-optiese omskakeling
· PMUT-skikkings vir mediese ultraklankbeelding (>20MHz-resolusie)
LiTaO₃-wafels - XKH-dienste
1. Voorsieningskettingbestuur
· Boule-tot-wafer-verwerking met 'n levertyd van 4 weke vir standaardspesifikasies
· Koste-geoptimaliseerde produksie wat 10-15% prysvoordeel teenoor mededingers lewer
2. Pasgemaakte Oplossings
· Oriëntasie-spesifieke wafervorming: 36°±0.5° Y-snit vir optimale SAW-prestasie
· Gedoteerde samestellings: MgO (5mol%) doping vir optiese toepassings
Metalliseringsdienste: Cr/Au (100/1000Å) elektrodepatroonvorming
3. Tegniese Ondersteuning
· Materiaalkarakterisering: XRD-wiegkrommes (FWHM<0.01°), AFM-oppervlakanalise
· Toestelsimulasie: FEM-modellering vir SAW-filterontwerpoptimalisering
Gevolgtrekking
LiTaO₃-wafers hou aan om tegnologiese vooruitgang in RF-kommunikasie, geïntegreerde fotonika en sensors vir strawwe omgewings moontlik te maak. XKH se materiaalkundigheid, vervaardigingspresisie en toepassingsingenieursondersteuning help kliënte om ontwerpuitdagings in die volgende generasie elektroniese stelsels te oorkom.


