Mikrostraal-lasertegnologietoerusting wafer sny SiC materiaal verwerking

Kort beskrywing:

Mikrostraal-lasertegnologietoerusting is 'n soort presisiebewerkingstelsel wat hoë-energie laser en mikronvlak-vloeistofstraal kombineer. Deur die laserstraal aan die hoëspoed-vloeistofstraal (gedeïoniseerde water of spesiale vloeistof) te koppel, kan die materiaalverwerking met hoë presisie en lae termiese skade bewerkstellig word. Hierdie tegnologie is veral geskik vir die sny, boor en mikrostruktuurverwerking van harde en bros materiale (soos SiC, saffier, glas), en word wyd gebruik in halfgeleier, fotoëlektriese skerms, mediese toestelle en ander velde.

Stuur e-pos aan ons

Kenmerke

Werkbeginsel:

1. Laserkoppeling: gepulseerde laser (UV/groen/infrarooi) word binne die vloeistofstraal gefokus om 'n stabiele energie-oordragkanaal te vorm.

2. Vloeistofgeleiding: hoëspoed-straal (vloeitempo 50-200 m/s) wat die verwerkingsarea afkoel en puin verwyder om hitte-ophoping en besoedeling te voorkom.

3. Materiaalverwydering: Die laserenergie veroorsaak 'n kavitasie-effek in die vloeistof om koue verwerking van die materiaal te bewerkstellig (hitte-geaffekteerde sone <1μm).

4. Dinamiese beheer: intydse aanpassing van laserparameters (krag, frekwensie) en straaldruk om aan die behoeftes van verskillende materiale en strukture te voldoen.

Sleutelparameters:

1. Laserkrag: 10-500W (verstelbaar)

2. Straaldiameter: 50-300μm

3. Bewerkingsakkuraatheid: ±0.5μm (sny), diepte-tot-breedte-verhouding 10:1 (boor)

Tegniese voordele:

(1) Byna geen hitteskade
- Vloeibare straalverkoeling beheer die hitte-geaffekteerde sone (HAZ) tot **<1μm**, wat mikro-krake wat deur konvensionele laserverwerking veroorsaak word, vermy (HAZ is gewoonlik >10μm).

(2) Ultra-hoë presisie bewerking
- Sny-/boornauwkeurigheid tot **±0.5μm**, randruheid Ra<0.2μm, verminder die behoefte aan daaropvolgende polering.

- Ondersteun komplekse 3D-struktuurverwerking (soos koniese gate, gevormde gleuwe).

(3) Wye materiaalversoenbaarheid
- Harde en bros materiale: SiC, saffier, glas, keramiek (tradisionele metodes is maklik om te verpletter).

- Hittesensitiewe materiale: polimere, biologiese weefsels (geen risiko van termiese denaturasie nie).

(4) Omgewingsbeskerming en -doeltreffendheid
- Geen stofbesoedeling nie, vloeistof kan herwin en gefiltreer word.

- 30%-50% toename in verwerkingsspoed (teenoor bewerking).

(5) Intelligente beheer
- Geïntegreerde visuele posisionering en KI-parameteroptimalisering, aanpasbare materiaaldikte en defekte.

Tegniese spesifikasies:

Aanrechtblad volume	300300150	400400200
Lineêre as XY	Lineêre motor. Lineêre motor	Lineêre motor. Lineêre motor
Lineêre as Z	150	200
Posisioneringsakkuraatheid μm	+/-5	+/-5
Herhaalde posisioneringsakkuraatheid μm	+/-2	+/-2
Versnelling G	1	0.29
Numeriese beheer	3-as /3+1-as /3+2-as	3-as /3+1-as /3+2-as
Numeriese beheertipe	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Golflengte nm	532/1064	532/1064
Gegradeerde krag W	50/100/200	50/100/200
Waterstraal	40-100	40-100
Spuitstukdrukbalk	50-100	50-600
Afmetings (masjiengereedskap) (breedte * lengte * hoogte) mm	144519442260	170015002120
Grootte (beheerkas) (B * L * H)	70025001600	70025001600
Gewig (toerusting) T	2.5	3
Gewig (beheerkas) kg	800	800
Verwerkingsvermoë	Oppervlakruheid Ra≤1.6um Oopmaakspoed ≥1.25mm/s Omtrek sny ≥6mm/s Lineêre snyspoed ≥50mm/s	Oppervlakruheid Ra≤1.2um Oopmaakspoed ≥1.25mm/s Omtrek sny ≥6mm/s Lineêre snyspoed ≥50mm/s
	Vir galliumnitriedkristal, ultra-wye bandgaping halfgeleiermateriale (diamant/galliumoksied), spesiale lugvaartmateriale, LTCC koolstofkeramiek substraat, fotovoltaïese, sintillatorkristal en ander materiaalverwerking. Let wel: Verwerkingskapasiteit wissel na gelang van materiaaleienskappe

Verwerking van saak:

XKH se dienste:

XKH bied 'n volledige reeks lewensiklusdiensondersteuning vir mikrostraal-lasertegnologietoerusting, van die vroeë prosesontwikkeling en toerustingkeuse-konsultasie, tot die mediumtermyn-gepasmaakte stelselintegrasie (insluitend die spesiale aanpassing van laserbron, straalstelsel en outomatiseringsmodule), tot die latere bedryfs- en instandhoudingsopleiding en deurlopende prosesoptimalisering, die hele proses is toegerus met professionele tegniese spanondersteuning; Gebaseer op 20 jaar se presisiebewerkingservaring, kan ons eenstop-oplossings bied, insluitend toerustingverifikasie, massaproduksie-inleiding en vinnige reaksie na-verkope (24 uur tegniese ondersteuning + sleutelonderdele-reserwe) vir verskillende industrieë soos halfgeleier en medies, en belowe 12 maande lange waarborg en lewenslange instandhoudings- en opgraderingsdiens. Verseker dat kliënttoerusting altyd toonaangewende verwerkingsprestasie en stabiliteit handhaaf.