Microjet laser tegnologie toerusting wafer sny SiC materiaal verwerking

Kort beskrywing:

Microjet-lasertegnologie-toerusting is 'n soort presisiebewerkingstelsel wat hoë-energie-laser en mikronvlak-vloeistofstraal kombineer. Deur die laserstraal aan die hoëspoed-vloeistofstraal (gedeïoniseerde water of spesiale vloeistof) te koppel, kan die materiaalverwerking met hoë presisie en lae termiese skade gerealiseer word. Hierdie tegnologie is veral geskik vir die sny, boor en mikrostruktuurverwerking van harde en bros materiale (soos SiC, saffier, glas), en word wyd gebruik in halfgeleier, foto-elektriese vertoning, mediese toestelle en ander velde.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

Werksbeginsel:

1. Laserkoppeling: gepulseerde laser (UV/groen/infrarooi) word binne die vloeistofstraal gefokus om 'n stabiele energie-oordragkanaal te vorm.

2. Vloeistofleiding: hoëspoedstraal (vloeitempo 50-200m/s) wat die verwerkingsarea afkoel en puin wegneem om hitte-akkumulasie en besoedeling te vermy.

3. Materiaalverwydering: Die laserenergie veroorsaak kavitasie-effek in die vloeistof om koue verwerking van die materiaal te bereik (hitte-geaffekteerde sone <1μm).

4. Dinamiese beheer: intydse aanpassing van laserparameters (krag, frekwensie) en straaldruk om aan die behoeftes van verskillende materiale en strukture te voldoen.

Sleutel parameters:

1. Laserkrag: 10-500W (verstelbaar)

2. Straaldeursnee: 50-300μm

3.Masjinering akkuraatheid: ±0.5μm (sny), diepte tot breedte verhouding 10:1 (boor)

Tegniese voordele:

(1) Byna geen hitteskade nie
- Vloeistofstraalverkoeling beheer die hitte-geaffekteerde sone (HAZ) tot **<1μm**, en vermy mikrokrake wat deur konvensionele laserverwerking veroorsaak word (HAZ is gewoonlik >10μm).

(2) Ultra-hoë presisie bewerking
- Sny/boor akkuraatheid tot **±0.5μm**, randruwheid Ra<0.2μm, verminder die behoefte aan daaropvolgende polering.

- Ondersteun komplekse 3D-struktuurverwerking (soos koniese gate, gevormde gleuwe).

(3) Wye materiaalversoenbaarheid
- Harde en bros materiale: SiC, saffier, glas, keramiek (tradisionele metodes is maklik om te breek).

- Hitte-sensitiewe materiale: polimere, biologiese weefsels (geen risiko van termiese denaturasie nie).

(4) Omgewingsbeskerming en doeltreffendheid
- Geen stofbesoedeling nie, vloeistof kan herwin en gefiltreer word.

- 30%-50% toename in verwerkingspoed (teenoor bewerking).

(5) Intelligente beheer
- Geïntegreerde visuele posisionering en AI-parameteroptimalisering, aanpasbare materiaaldikte en defekte.

Tegniese spesifikasies:

Countertop volume	300300150	400400200
Lineêre as XY	Lineêre motor. Lineêre motor	Lineêre motor. Lineêre motor
Lineêre as Z	150	200
Posisionering akkuraatheid μm	+/-5	+/-5
Herhaalde posisionering akkuraatheid μm	+/-2	+/-2
Versnelling G	1	0,29
Numeriese beheer	3-as /3+1-as /3+2-as	3-as /3+1-as /3+2-as
Tipe numeriese beheer	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Golflengte nm	532/1064	532/1064
Gegradeerde krag W	50/100/200	50/100/200
Waterstraal	40-100	40-100
Spuitstuk druk staaf	50-100	50-600
Afmetings (masjiengereedskap) (breedte * lengte * hoogte) mm	144519442260	170015002120
Grootte (beheerkas) (B * L * H)	70025001600	70025001600
Gewig (toerusting) T	2.5	3
Gewig (beheerkas) KG	800	800
Verwerkingsvermoë	Oppervlakgrofheid Ra≤1.6um Oopmaakspoed ≥1.25mm/s Omtreksny ≥6mm/s Lineêre snyspoed ≥50mm/s	Oppervlakgrofheid Ra≤1.2um Oopmaakspoed ≥1.25mm/s Omtreksny ≥6mm/s Lineêre snyspoed ≥50mm/s
	Vir galliumnitried kristal, ultrawye band gaping halfgeleier materiale (diamant / gallium oksied), lugvaart spesiale materiale, LTCC koolstof keramiek substraat, fotovoltaïese, scintillator kristal en ander materiaal verwerking. Let wel: Verwerkingskapasiteit wissel na gelang van materiaalkenmerke

Verwerking saak:

XKH se dienste:

XKH bied 'n volledige reeks volledige lewensiklusdiensondersteuning vir mikrostraallasertegnologietoerusting, van die vroeë prosesontwikkeling en toerustingkeusekonsultasie, tot die middeltermyn-aangepaste stelselintegrasie (insluitend die spesiale passing van laserbron, straalstelsel en outomatiseringsmodule), tot die latere bedryfs- en instandhoudingsopleiding en deurlopende prosesoptimalisering, die hele proses is toegerus met professionele tegniese spanondersteuning; Gebaseer op 20 jaar se presisiebewerkingservaring, kan ons eenstopoplossings bied, insluitend toerustingverifikasie, massaproduksie bekendstelling en na-verkope vinnige reaksie (24 uur van tegniese ondersteuning + sleutel onderdele reserwe) vir verskillende industrieë soos halfgeleier en medies, en belowe 12 maande lange waarborg en lewenslange onderhoud en opgradering diens. Verseker dat klanttoerusting altyd toonaangewende verwerkingsprestasie en stabiliteit in die industrie handhaaf.