p-tipe 4H/6H-P 3C-N TIPE SIC substraat 4 duim 〈111〉± 0.5° Zero MPD

Kort beskrywing:

Die P-tipe 4H/6H-P 3C-N tipe SiC substraat, 4-duim met 'n 〈111〉± 0.5° oriëntasie en Zero MPD (Micro Pipe Defect) graad, is 'n hoëprestasie halfgeleier materiaal wat ontwerp is vir gevorderde elektroniese toestelle vervaardiging. Bekend vir sy uitstekende termiese geleidingsvermoë, hoë deurbreekspanning en sterk weerstand teen hoë temperature en korrosie, is hierdie substraat ideaal vir kragelektronika en RF-toepassings. Die Zero MPD-graad waarborg minimale defekte, wat betroubaarheid en stabiliteit in hoëprestasie-toestelle verseker. Die presiese 〈111〉± 0.5° oriëntasie maak voorsiening vir akkurate belyning tydens vervaardiging, wat dit geskik maak vir grootskaalse vervaardigingsprosesse. Hierdie substraat word wyd gebruik in hoëtemperatuur-, hoëspanning- en hoëfrekwensie-elektroniese toestelle, soos kragomsetters, omsetters en RF-komponente.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

4H/6H-P Tipe SiC Saamgestelde Substrate Algemene parameter tabel

4 duim deursnee SilikonKarbied (SiC) substraat Spesifikasie

Graad			Geen MPD-produksie Graad (Z Graad)	Standaard produksie Graad (P Graad)	Dummy Graad (D Graad)
Deursnee			99,5 mm~100,0 mm
Dikte			350 μm ± 25 μm
Wafer oriëntasie			Af-as: 2.0°-4.0° na [112(-)0] ± 0.5° vir 4H/6H-P, On-as:〈111〉± 0.5° vir 3C-N
Mikropypdigtheid			0 cm-2
Weerstand	p-tipe 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-tipe 3C-N		≤0,8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Primêre plat oriëntasie		4H/6H-P	- {1010} ± 5,0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
Primêre plat lengte			32,5 mm ± 2,0 mm
Sekondêre plat lengte			18,0 mm ± 2,0 mm
Sekondêre plat oriëntasie			Silikon gesig na bo: 90° CW. van Prime flat±5.0°
Rand-uitsluiting			3 mm		6 mm
LTV/TTV/Boog/Warp			≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Grofheid			Pools Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0,2 nm		Ra≤0,5 nm
Rand krake deur hoë intensiteit lig			Geen		Kumulatiewe lengte ≤ 10 mm, enkellengte≤2 mm
Hex plate deur hoë intensiteit lig			Kumulatiewe oppervlakte ≤0.05%		Kumulatiewe oppervlakte ≤0,1%
Politipe areas deur hoë intensiteit lig			Geen		Kumulatiewe oppervlakte≤3%
Visuele koolstofinsluitings			Kumulatiewe oppervlakte ≤0.05%		Kumulatiewe oppervlakte ≤3%
Silikonoppervlakte skrape deur hoë intensiteit lig			Geen		Kumulatiewe lengte≤1×wafeldiameter
Randskyfies hoog deur intensiteitlig			Geen toegelaat nie ≥0.2mm breedte en diepte		5 toegelaat, ≤1 mm elk
Silikonoppervlakbesoedeling deur hoë intensiteit			Geen
Verpakking			Multi-wafer Cassette of Single Wafer Container

Notas:

※ Defekte limiete geld vir die hele wafeloppervlak behalwe vir die randuitsluitingsarea. # Die skrape moet slegs op Si-gesig nagegaan word.

Die P-tipe 4H/6H-P 3C-N tipe 4-duim SiC substraat met 〈111〉± 0.5° oriëntasie en Zero MPD graad word wyd gebruik in hoëprestasie elektroniese toepassings. Sy uitstekende termiese geleidingsvermoë en hoë deurbreekspanning maak dit ideaal vir kragelektronika, soos hoëspanningskakelaars, omsetters en kragomsetters, wat in uiterste toestande werk. Daarbenewens verseker die substraat se weerstand teen hoë temperature en korrosie stabiele werkverrigting in moeilike omgewings. Die presiese 〈111〉± 0.5°-oriëntasie verbeter vervaardigingsakkuraatheid, wat dit geskik maak vir RF-toestelle en hoëfrekwensietoepassings, soos radarstelsels en draadlose kommunikasietoerusting.

Die voordele van N-tipe SiC saamgestelde substrate sluit in:

1. Hoë termiese geleidingsvermoë: Doeltreffende hitte-afvoer, wat dit geskik maak vir hoë-temperatuur omgewings en hoë-krag toepassings.
2. Hoë afbreekspanning: Verseker betroubare werkverrigting in hoëspanningtoepassings soos kragomsetters en omsetters.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) Graad: Waarborg minimale defekte, wat stabiliteit en hoë betroubaarheid in kritieke elektroniese toestelle verskaf.
4. Korrosieweerstand: Duursaam in moeilike omgewings, wat langtermyn funksionaliteit in veeleisende toestande verseker.
5. Presiese 〈111〉± 0.5° Oriëntasie: Maak voorsiening vir akkurate belyning tydens vervaardiging, verbeter toestelprestasie in hoëfrekwensie- en RF-toepassings.

Oor die algemeen is die P-tipe 4H/6H-P 3C-N tipe 4-duim SiC-substraat met 〈111〉± 0.5°-oriëntasie en Zero MPD-graad 'n hoëprestasiemateriaal wat ideaal is vir gevorderde elektroniese toepassings. Die uitstekende termiese geleidingsvermoë en hoë afbreekspanning maak dit perfek vir kragelektronika soos hoëspanningskakelaars, omsetters en omsetters. Die Zero MPD-graad verseker minimale defekte, wat betroubaarheid en stabiliteit in kritieke toestelle bied. Daarbenewens verseker die substraat se weerstand teen korrosie en hoë temperature duursaamheid in moeilike omgewings. Die presiese 〈111〉± 0.5° oriëntasie maak voorsiening vir akkurate belyning tydens vervaardiging, wat dit uiters geskik maak vir RF-toestelle en hoëfrekwensietoepassings.