SiC Keramiek Vurkarm / Eindeffektor – Gevorderde Presisiehantering vir Halfgeleiervervaardiging

Kort beskrywing:

Die SiC Keramiek Vurkarm, dikwels na verwys as 'n Keramiese Eindeffektor, is 'n hoëprestasie-presisiehanteringskomponent wat spesifiek ontwikkel is vir wafervervoer, -belyning en -posisionering in hoëtegnologie-industrieë, veral binne halfgeleier- en fotovoltaïese produksie. Vervaardig met behulp van hoë-suiwerheid silikonkarbied-keramiek, kombineer hierdie komponent uitsonderlike meganiese sterkte, ultra-lae termiese uitbreiding en superieure weerstand teen termiese skok en korrosie.

Stuur e-pos aan ons

Kenmerke

Gedetailleerde Diagram

Produk Oorsig

Anders as tradisionele eindeffektors gemaak van aluminium, vlekvrye staal of selfs kwarts, bied SiC-keramiek-eindeffektors ongeëwenaarde werkverrigting in vakuumkamers, skoonkamers en strawwe verwerkingsomgewings, wat hulle 'n belangrike deel van die volgende generasie waferhanteringsrobotte maak. Met die toenemende vraag na kontaminasievrye produksie en strenger toleransies in skyfievervaardiging, word die gebruik van keramiek-eindeffektors vinnig die bedryfstandaard.

Vervaardigingsbeginsel

Die vervaardiging vanSiC Keramiese Eindeffektorebehels 'n reeks hoë-presisie, hoë-suiwerheid prosesse wat beide werkverrigting en duursaamheid verseker. Twee hoofprosesse word tipies gebruik:

Reaksiegebonde silikonkarbied (RB-SiC)

In hierdie proses word 'n voorvorm gemaak van silikonkarbiedpoeier en bindmiddel by hoë temperature (~1500°C) geïnfiltreer met gesmelte silikon, wat met oorblywende koolstof reageer om 'n digte, rigiede SiC-Si-komposiet te vorm. Hierdie metode bied uitstekende dimensionele beheer en is koste-effektief vir grootskaalse produksie.

Druklose gesinterde silikonkarbied (SSiC)

SSiC word vervaardig deur ultrafyn, hoë-suiwerheid SiC-poeier by uiters hoë temperature (>2000°C) te sinter sonder om bymiddels of 'n bindfase te gebruik. Dit lei tot 'n produk met byna 100% digtheid en die hoogste meganiese en termiese eienskappe beskikbaar onder SiC-materiale. Dit is ideaal vir ultra-kritiese waferhanteringstoepassings.

Naverwerking

Presisie CNC-bewerkingBereik hoë platheid en parallelisme.
OppervlakafwerkingDiamantpolering verminder oppervlakruheid tot <0.02 µm.
InspeksieOptiese interferometrie, CMM en nie-vernietigende toetsing word gebruik om elke stuk te verifieer.

Hierdie stappe waarborg dat dieSiC-eindeffektorlewer konsekwente waferplasingsakkuraatheid, uitstekende planariteit en minimale deeltjiegenerering.

Belangrike kenmerke en voordele

Kenmerk	Beskrywing
Ultrahoë Hardheid	Vickers-hardheid > 2500 HV, bestand teen slytasie en afskilfering.
Lae Termiese Uitbreiding	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, wat dimensionele stabiliteit in termiese siklusse moontlik maak.
Chemiese traagheid	Bestand teen HF, HCl, plasmagasse en ander korrosiewe middels.
Uitstekende termiese skokweerstand	Geskik vir vinnige verhitting/verkoeling in vakuum- en oondstelsels.
Hoë rigiditeit en sterkte	Ondersteun lang vrydraende vurkarms sonder defleksie.
Lae Uitgassing	Ideaal vir ultrahoë vakuum (UHV) omgewings.
ISO Klas 1 Skoonkamer Gereed	Deeltjievrye werking verseker wafer-integriteit.

Toepassings

Die SiC Keramiek Vurkarm / Eindeffektor word wyd gebruik in nywerhede wat uiterste presisie, netheid en chemiese weerstand vereis. Belangrike toepassingscenario's sluit in:

Halfgeleiervervaardiging

Waferlaai/-aflaai in afsettings- (CVD, PVD), ets- (RIE, DRIE) en skoonmaakstelsels.
Robotiese wafervervoer tussen FOUP's, kassette en prosesgereedskap.
Hoëtemperatuurhantering tydens termiese verwerking of uitgloeiing.

Fotovoltaïese Selproduksie

Delikate vervoer van brose silikonwafers of sonsubstrate in outomatiese lyne.

Platskerm- (FPD) Bedryf

Verskuiwing van groot glaspanele of substrate in OLED/LCD-produksieomgewings.

Saamgestelde Halfgeleier / MEMS

Word gebruik in GaN-, SiC- en MEMS-vervaardigingslyne waar kontaminasiebeheer en posisioneringsakkuraatheid van kritieke belang is.

Die rol van die eindeffektor is veral krities om defekvrye, stabiele hantering tydens sensitiewe operasies te verseker.

Aanpassingsvermoëns

Ons bied uitgebreide aanpassings om aan verskillende toerusting- en prosesvereistes te voldoen:

VurkontwerpTweepunt-, veelvinger- of gesplete vlak-uitlegte.
Wafergrootte-versoenbaarheidVan 2” tot 12” wafels.
MonteringskoppelvlakkeVersoenbaar met OEM-robotarms.
Dikte en OppervlaktoleransiesMikronvlak-platheid en randafronding beskikbaar.
Anti-gly-eienskappeOpsionele oppervlakteksture of bedekkings vir veilige wafergreep.

Elkekeramiek eindeffektorword saam met kliënte ontwerp om presiese passing met minimale gereedskapveranderinge te verseker.

Gereelde vrae (FAQ)

V1: Hoe is SiC beter as kwarts vir 'n eindeffektortoepassing?
A1:Alhoewel kwarts algemeen gebruik word vir sy suiwerheid, het dit nie meganiese taaiheid nie en is dit geneig tot breek onder las of temperatuurskok. SiC bied uitstekende sterkte, slytasieweerstand en termiese stabiliteit, wat die risiko van stilstand en waferskade aansienlik verminder.

V2: Is hierdie keramiekvurkarm versoenbaar met alle robotwafelhanteerders?
A2:Ja, ons keramiek-eindeffektore is versoenbaar met die meeste groot waferhanteringstelsels en kan aangepas word vir u spesifieke robotmodelle met presiese ingenieurstekeninge.

V3: Kan dit 300 mm-wafers hanteer sonder om te kromtrek?
A3:Absoluut. Die hoë rigiditeit van SiC laat selfs dun, lang vurk-arms toe om 300 mm-wafers veilig te hou sonder om te buig of te buig tydens beweging.

V4: Wat is die tipiese lewensduur van 'n SiC-keramiek-eindeffektor?
A4:Met behoorlike gebruik kan 'n SiC-eindeffektor 5 tot 10 keer langer hou as tradisionele kwarts- of aluminiummodelle, danksy sy uitstekende weerstand teen termiese en meganiese spanning.

V5: Bied julle vervangings- of vinnige prototiperingsdienste aan?
A5:Ja, ons ondersteun vinnige monsterproduksie en bied vervangingsdienste gebaseer op CAD-tekeninge of omgekeerd-ontwerpte onderdele van bestaande toerusting.

Oor Ons

XKH spesialiseer in hoëtegnologie-ontwikkeling, produksie en verkope van spesiale optiese glas en nuwe kristalmateriale. Ons produkte bedien optiese elektronika, verbruikerselektronika en die weermag. Ons bied saffier optiese komponente, selfoonlensdeksels, keramiek, LT, silikonkarbied SIC, kwarts en halfgeleierkristalwafers. Met bekwame kundigheid en moderne toerusting, blink ons uit in nie-standaard produkverwerking, met die doel om 'n toonaangewende hoëtegnologie-onderneming in opto-elektroniese materiale te wees.