Silikonkarbide keramiekbakkie suig silikonkarbied keramiekbuistoevoer Hoë temperatuur sintering persoonlike verwerking

Silikonkarbide keramiekbakkie suig silikonkarbide keramiekbuisvoorsiening hoë temperatuur sintering pasgemaakte verwerking

Kort beskrywing:

Silikonkarbied keramiekbakkie en silikonkarbied keramiekbuise is onontbeerlike hoëprestasie-materiale in die vervaardiging van halfgeleiers. Silikonkarbied keramiekbakkie word hoofsaaklik gebruik in die verwerking en dra van die wafer om die stabiliteit van die hoë-presisieproses te verseker; Silikonkarbied keramiekbuise word wyd gebruik in oondbuise met 'n hoë temperatuur, diffusieoondbuise en ander scenario's om ekstreme omgewings te weerstaan en doeltreffende termiese bestuur te handhaaf. Albei is gebaseer op silikonkarbied as die kernmateriaal, wat 'n sleutelkomponent in die halfgeleierbedryf geword het vanweë die uitstekende fisiese en chemiese eienskappe.

Stuur e -pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk tags

Belangrike kenmerke:

1. Silikonkarbied keramiekbak
- Hoë hardheid en slytweerstand: die hardheid is naby diamant en kan 'n lang tyd meganiese slytasie in die wafelverwerking weerstaan.
- Hoë termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitbreidingskoëffisiënt: vinnige hitte -verspreiding en dimensionele stabiliteit, vermy vervorming wat veroorsaak word deur termiese spanning.
- Hoë platheid en oppervlakafwerking: die platheid van die oppervlak is tot op die mikronvlak, wat die volle kontak tussen die skyf en die skyf verseker, wat besoedeling en skade verminder.
Chemiese stabiliteit: sterk korrosie -weerstand, geskik vir nat skoonmaak- en etsprosesse in halfgeleiervervaardiging.
2. silikonkarbied keramiekbuis
- Hoë temperatuurweerstand: dit kan lank werk in 'n hoë temperatuuromgewing bo 1600 ° C, geskik vir halfgeleier hoë temperatuurproses.
Uitstekende korrosieweerstand: bestand teen sure, alkalis en 'n verskeidenheid chemiese oplosmiddels, geskik vir harde prosesomgewings.
- Hoë hardheid en slytweerstand: weerstand teen erosie en meganiese slytasie, verleng die lewensduur.
- Hoë termiese geleidingsvermoë en lae koëffisiënt van termiese uitbreiding: vinnige geleiding van hitte en dimensionele stabiliteit, die vermindering van vervorming of krake veroorsaak deur termiese spanning.

Produkparameter ：

Silikonkarbied keramiekbakkie -parameter:

(Materiële eiendom)		(Eenheid)	(SSIC)
(SIC -inhoud)		(Wt)%	> 99
(Gemiddelde graangrootte)		mikron	4-10
(Digtheid)		KG/DM3	> 3.14
(Oënskynlike poreusheid)		VO1%	<0.5
(Vickers hardheid)	HV 0.5	GPA	28
() Buigsterkte (drie punte)	20ºC	MPA	450
(Druksterkte)	20ºC	MPA	3900
(Elastiese modulus)	20ºC	GPA	420
(Fraktuur taaiheid)		MPa/m '%	3.5
(Termiese geleidingsvermoë)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Weerstand)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Termiese uitbreidingskoëffisiënt)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimum bedryfstemperatuur)		OºC	1700

Silikonkarbied keramiekbuisparameter:

Voorwerpe	Inhoudsopgawe
α-SIC	99% min
Oënskynlike poreusheid	16% maksimum
Grootmaatdigtheid	2,7g/cm3 min
Buigsterkte by hoë temperatuur	100 MPa min
Koëffisiënt van termiese uitbreiding	K -1 4.7x10 -6
Koëffisiënt van termiese geleidingsvermoë (1400 ° C)	24 w/mk
Maks. Werkstemperatuur	1650ºC

Hoofaansoeke:

1. silikonkarbied keramiekplaat
- Wafer sny en poleer: dien as 'n laerplatform om hoë akkuraatheid en stabiliteit tydens sny en poleer te verseker.
- Litografieproses: Die wafel is in die litografie -masjien vasgemaak om hoë presisieposisionering tydens blootstelling te verseker.
- Chemiese meganiese polering (CMP): dien as 'n ondersteuningsplatform vir poleerkussings, wat eenvormige druk en hitteverspreiding bied.
2. silikonkarbied keramiekbuis
- Hoë temperatuur oondbuis: gebruik vir toerusting met hoë temperatuur soos diffusieoond en oksidasieoond om wafers te dra vir die behandeling van hoë temperatuurproses.
- CVD/PVD -proses: as 'n laerbuis in die reaksiekamer, bestand teen hoë temperature en korrosiewe gasse.
- Halfgeleiertoerusting -bykomstighede: vir warmtewisselaars, gaspypleidings, ens. Om die termiese bestuursdoeltreffendheid van toerusting te verbeter.
XKH bied 'n volledige reeks pasgemaakte dienste vir keramiekbakkies, suigkoppies en keramiekbuise van silikonkarbied. Silikonkarbied keramiekbakke en suigkoppies, XKH kan aangepas word volgens die vereistes van die klante van verskillende groottes, vorms en oppervlakruwheid, en ondersteun spesiale deklaagbehandeling, om die weerstand teen slytasie en korrosie weerstand te bied; Vir silikonkarbied keramiekbuise kan XKH 'n verskeidenheid binne-deursnee, buitenste deursnee, lengte en komplekse struktuur (soos gevormde buis of poreuse buis) aanpas, en sorg vir poleer, anti-oksidasie-deklaag en ander oppervlakbehandelingsprosesse. XKH verseker dat kliënte die prestasievoordele van keramiekprodukte van silikonkarbide ten volle kan benut om aan die veeleisende vereistes van hoë-end-vervaardigingsvelde soos halfgeleiers, LED's en fotovoltaïese te voldoen.