Silikonkarbied keramiek bak suiger Silikonkarbied keramiek buis voorsien hoë temperatuur sintering persoonlike verwerking

Kort beskrywing:

Silikonkarbied-keramiekbak en silikonkarbied-keramiekbuise is onontbeerlike hoëprestasie-materiale in halfgeleiervervaardiging. Silikonkarbied-keramiekbakke word hoofsaaklik gebruik in waferverwerking, vaste en laer, om die stabiliteit van hoë-presisie-prosesse te verseker; Silikonkarbied-keramiekbuise word wyd gebruik in hoëtemperatuur-oondbuise, diffusie-oondbuise en ander scenario's om uiterste omgewings te weerstaan en doeltreffende termiese bestuur te handhaaf. Beide is gebaseer op silikonkarbied as die kernmateriaal, wat 'n sleutelkomponent in die halfgeleierbedryf geword het as gevolg van sy uitstekende fisiese en chemiese eienskappe.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk-etikette

Belangrikste kenmerke:

1. Silikonkarbied keramiekbak
- Hoë hardheid en slytasieweerstand: die hardheid is naby aan diamant, en kan meganiese slytasie in waferverwerking vir 'n lang tyd weerstaan.
- Hoë termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitbreidingskoëffisiënt: vinnige hitteafvoer en dimensionele stabiliteit, wat vervorming veroorsaak deur termiese spanning vermy.
- Hoë platheid en oppervlakafwerking: Die oppervlakplatheid is tot op mikronvlak, wat volle kontak tussen die wafer en die skyf verseker, wat kontaminasie en skade verminder.
Chemiese stabiliteit: Sterk korrosiebestandheid, geskik vir nat skoonmaak- en etsprosesse in halfgeleiervervaardiging.
2. Silikonkarbied keramiekbuis
- Hoë temperatuur weerstand: Dit kan vir 'n lang tyd in 'n hoë temperatuur omgewing bo 1600 °C werk, geskik vir halfgeleier hoë temperatuur proses.
Uitstekende korrosiebestandheid: bestand teen sure, alkalieë en 'n verskeidenheid chemiese oplosmiddels, geskik vir strawwe prosesomgewings.
- Hoë hardheid en slytasieweerstand: weerstaan deeltjie-erosie en meganiese slytasie, verleng dienslewe.
- Hoë termiese geleidingsvermoë en lae termiese uitbreidingskoëffisiënt: vinnige hittegeleiding en dimensionele stabiliteit, wat vervorming of krake wat deur termiese spanning veroorsaak word, verminder.

Produkparameter:

Silikonkarbied keramiek bak parameter:

(Materiële eienskap)		(Eenheid)	(sic)
(SiC-inhoud)		(Gewig)%	>99
(Gemiddelde korrelgrootte)		mikron	4-10
(Digtheid)		kg/dm3	>3.14
(Skynbare porositeit)		Vo1%	<0.5
(Vickers-hardheid)	HV 0.5	GPa	28
() Buigsterkte (drie punte)	20ºC	MPa	450
(Druksterkte)	20ºC	MPa	3900
(Elastiese Modulus)	20ºC	GPa	420
(Breuksterkte)		MPa/m'%	3.5
(Termiese geleidingsvermoë)	20°ºC	W/(m*K)	160
(Weerstand)	20°ºC	Ohm.cm	106-108
(Termiese uitbreidingskoëffisiënt)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimum bedryfstemperatuur)		oºC	1700

Silikonkarbied keramiekbuis parameter:

Items	Indeks
α-SIC	99% min
Skynbare Porositeit	16% maksimum
Grootmaatdigtheid	2.7g/cm3 min
Buigsterkte by hoë temperatuur	100 MPa min
Koëffisiënt van Termiese Uitbreiding	K-1 4.7x10 -6
Koëffisiënt van termiese geleidingsvermoë (1400ºC)	24 W/mk
Maks. Werktemperatuur	1650ºC

Hooftoepassings:

1. Silikonkarbied keramiekplaat
- Wafersny en -polering: dien as 'n laerplatform om hoë presisie en stabiliteit tydens sny en polering te verseker.
- Litografieproses: Die wafer word in die litografiemasjien vasgemaak om hoë presisie-posisionering tydens blootstelling te verseker.
- Chemiese Meganiese Polering (CMP): dien as 'n ondersteuningsplatform vir poleerblokkies, wat eenvormige druk en hitteverspreiding bied.
2. Silikonkarbied keramiekbuis
- Hoëtemperatuur-oondbuis: word gebruik vir hoëtemperatuurtoerusting soos diffusie-oonde en oksidasie-oonde om wafers vir hoëtemperatuurprosesbehandeling te dra.
- CVD/PVD-proses: As 'n laerbuis in die reaksiekamer, bestand teen hoë temperature en korrosiewe gasse.
- Halfgeleiertoerustingbykomstighede: vir hitteruilers, gaspyplyne, ens., om die termiese bestuursdoeltreffendheid van toerusting te verbeter.
XKH bied 'n volledige reeks pasgemaakte dienste vir silikonkarbied-keramiekbakke, suigkoppies en silikonkarbied-keramiekbuise. Silikonkarbied-keramiekbakke en suigkoppies kan aangepas word volgens die kliënt se vereistes vir verskillende groottes, vorms en oppervlakruheid, en ondersteun spesiale bedekkingsbehandeling, verbeter slytasieweerstand en korrosieweerstand; vir silikonkarbied-keramiekbuise kan XKH 'n verskeidenheid binnediameters, buitediameters, lengtes en komplekse strukture (soos gevormde buis of poreuse buis) aanpas, en polering, anti-oksidasiebedekking en ander oppervlakbehandelingsprosesse verskaf. XKH verseker dat kliënte ten volle voordeel kan trek uit die prestasievoordele van silikonkarbied-keramiekprodukte om te voldoen aan die veeleisende vereistes van hoë-end vervaardigingsvelde soos halfgeleiers, LED's en fotovoltaïese eenhede.