Silikonkarbied diamant draad snymasjien 4/6/8/12 duim SiC ingot verwerking

Silikonkarbied diamantdraad snymasjien 4/6/8/12 duim SiC-staafverwerking Voorgestelde beeld

Kort beskrywing:

Silikonkarbied-diamantdraadsnymasjien is 'n soort hoë-presisie verwerkingstoerusting wat toegewy is aan silikonkarbied (SiC) ingotskyfie, met behulp van Diamond Wire Saw-tegnologie, deur hoëspoed bewegende diamantdraad (lyndeursnee 0.1~0.3mm) tot SiC-staaf multi-draadsny, om hoë-presisie wafervoorbereiding te bereik, lae skade. Die toerusting word wyd gebruik in SiC krag halfgeleier (MOSFET/SBD), radiofrekwensie toestel (GaN-on-SiC) en opto-elektroniese toestel substraat verwerking, is 'n sleutel toerusting in die SiC industrie ketting.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

Werksbeginsel:

1. Staaffiksasie: SiC-staaf (4H/6H-SiC) word deur die bevestiging op die snyplatform vasgemaak om die posisieakkuraatheid (±0.02mm) te verseker.

2. Diamantlynbeweging: diamantlyn (gegalvaniseerde diamantdeeltjies op die oppervlak) word aangedryf deur die gidswielstelsel vir hoëspoedsirkulasie (lynspoed 10~30m/s).

3. Snyvoer: die staaf word in die vasgestelde rigting gevoer, en die diamantlyn word gelyktydig met veelvuldige parallelle lyne (100~500 lyne) gesny om veelvuldige wafels te vorm.

4. Verkoeling en spaanderverwydering: Spuit koelmiddel (gedeïoniseerde water + bymiddels) in die snyarea om hitteskade te verminder en skyfies te verwyder.

Sleutel parameters:

1. Snyspoed: 0.2~1.0mm/min (afhangende van die kristalrigting en dikte van SiC).

2. Lynspanning: 20~50N (te hoog maklik om te breek lyn, te laag beïnvloed sny akkuraatheid).

3.Wafer dikte: standaard 350~500μm, wafer kan 100μm bereik.

Belangrikste kenmerke:

(1) Sny akkuraatheid
Diktetoleransie: ±5μm (@350μm wafer), beter as konvensionele mortelsnywerk (±20μm).

Oppervlakgrofheid: Ra<0.5μm (geen bykomende maal word benodig om die hoeveelheid daaropvolgende verwerking te verminder nie).

Vervorming: <10μm (verminder die moeilikheid van daaropvolgende polering).

(2) Verwerkingsdoeltreffendheid
Multilyn sny: sny 100~500 stukke op 'n slag, verhoog produksiekapasiteit 3~5 keer (teenoor enkellyn sny).

Lynlewe: Die diamantlyn kan 100 ~ 300 km SiC sny (afhangende van die staafhardheid en prosesoptimalisering).

(3) Lae skadeverwerking
Randbreek: <15μm (tradisionele sny>50μm), verbeter die wafelopbrengs.

Ondergrondse skadelaag: <5μm (verminder poleerverwydering).

(4) Omgewingsbeskerming en ekonomie
Geen mortelbesoedeling: Verminderde afvalvloeistofwegdoeningskoste in vergelyking met mortelsny.

Materiaalbenutting: Snyverlies <100μm/snyer, wat SiC-grondstowwe bespaar.

Sny effek:

1. Wafer kwaliteit: geen makroskopiese krake op die oppervlak, min mikroskopiese defekte (beheerbare ontwrigting verlenging). Kan direk die ruwe poleerskakel binnegaan, die prosesvloei verkort.

2. Konsekwentheid: die dikte-afwyking van die wafer in die bondel is <±3%, geskik vir outomatiese produksie.

3.Toepasbaarheid: Ondersteun 4H/6H-SiC-staafsny, versoenbaar met geleidende/semi-geïsoleerde tipe.

Tegniese spesifikasie:

Spesifikasie	Besonderhede
Afmetings (L × B × H)	2500x2300x2500 of pasmaak
Verwerking materiaal grootte reeks	4, 6, 8, 10, 12 duim silikonkarbied
Oppervlak grofheid	Ra≤0,3u
Gemiddelde snyspoed	0,3 mm/min
Gewig	5,5t
Sny proses instelling stappe	≤30 treë
Toerusting geraas	≤80 dB
Staaldraadspanning	0~110N (0.25 draadspanning is 45N)
Staal draad spoed	0~30m/S
Totale krag	50kw
Diamantdraad deursnee	≥0,18 mm
Eindig platheid	≤0,05 mm
Sny- en breektempo	≤1% (behalwe vir menslike redes, silikonmateriaal, lyn, onderhoud en ander redes)

XKH Dienste:

XKH verskaf die hele proses diens van silikonkarbied diamant draad snymasjien, insluitend toerusting seleksie (draad deursnee/draad spoed passing), proses ontwikkeling (sny parameter optimalisering), verbruiksgoedere verskaffing (diamant draad, gidswiel) en na-verkope ondersteuning (toerusting onderhoud, sny kwaliteit analise), om kliënte te help om hoë opbrengs (>95%), lae koste SiC wafer massa produksie. Dit bied ook pasgemaakte opgraderings (soos ultra-dun sny, outomatiese laai en aflaai) met 'n 4-8 weke deurlooptyd.