Ultra-presisie SiC luglaerstadium
Gedetailleerde Diagram
Oorsig
Met die voortdurende evolusie van die halfgeleierbedryf vereis verwerkings- en inspeksietoerusting steeds hoër werkverrigting. Voortbouend op uitgebreide kundigheid in bewegingsbeheer en nanometervlakposisionering, het ons 'n planêre H-tipe dubbelas ultra-presisie luglaerstadium ontwikkel.
Die verhoog, wat ontwerp is met 'n eindige-element-geoptimaliseerde silikonkarbied (SiC) keramiekstruktuur en gekompenseerde lugdraende tegnologie, lewer uitstekende akkuraatheid, rigiditeit en dinamiese reaksie. Dit is ideaal geskik vir:
-
Halfgeleierverwerking en -inspeksie
Mikro-/nano-vervaardiging en metrologie
Nanometer-skaal vlieg sny en poleer
Hoëspoed-presisie-skandering
Belangrike kenmerke
-
SiC lugdraende geleidingsbaanvir ultra-hoë styfheid en presisie
-
Hoë dinamika: snelheid tot 1 m/s, versnelling tot 4 g, vinnige afsak
-
Dubbelaangedrewe gantry Y-asverseker hoë dravermoë en stabiliteit
-
Enkodeerderopsiesoptiese rooster of laserinterferometer
-
Posisioneringsakkuraatheid: ±0.15 μm;herhaalbaarheid: ±75 nm
-
Geoptimaliseerde kabelroeteringvir skoon ontwerp en langtermyn betroubaarheid
-
Aanpasbare konfigurasiesvir toepassingspesifieke behoeftes
Ultra-presisie-ontwerp en direkte-aandrywing, kontaklose argitektuur
-
SiC Keramiek Raam~5× die styfheid van aluminiumlegering en ~5× laer termiese uitsetting, wat hoëspoedstabiliteit en termiese robuustheid verseker.
-
Gekompenseerde luglagersEie ontwerp verbeter styfheid, dravermoë en bewegingsstabiliteit.
-
Dinamiese PrestasieOndersteun 1 m/s snelheid en 4 g versnelling, ideaal vir hoë-deurset prosesse.
-
Naatlose integrasieVersoenbaar met vibrasie-isolasiestelsels, roterende stadiums, kantelmodules en waferhanteringsplatforms.
-
KabelbestuurBeheerde buigradius verminder spanning vir verlengde dienslewe.
-
Kernlose lineêre motorGladde beweging met geen tandkrag nie.
-
Multi-motor aandrywingDie plasing van die lasvlakmotor verbeter reguitheid, platheid en hoekpresisie.
-
Termiese IsolasieMotors is geïsoleer van die verhoogstruktuur; opsionele lug- of waterverkoeling vir hoë-diens siklusse.
Spesifikasies
| Model | 400-400 | 500-500 | 600-600 |
|---|---|---|---|
| Asse | X (skandering) / Y (stap) | X (skandering) / Y (stap) | X (skandering) / Y (stap) |
| Reis (mm) | 400 / 400 | 500 / 500 | 600 / 600 |
| Akkuraatheid (μm) | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
| Herhaalbaarheid (nm) | ±75 | ±100 | ±100 |
| Resolusie (nm) | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| Maksimum spoed (m/s) | 1 | 1 | 1 |
| Versnelling (g) | 4 | 4 | 4 |
| Reguitheid (μm) | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 |
| Stabiliteit (nm) | ±5 | ±5 | ±5 |
| Maksimum lading (kg) | 20 | 20 | 20 |
| Steek/Rol/Gir (boogsek) | ±1 | ±1 | ±1 |
Toetsvoorwaardes:
-
Lugtoevoer: skoon, droog; doupunt ≤ 0°F; deeltjiefiltrasie ≤ 0.25 μm; of 99.99% stikstof.
-
Akkuraatheid gemeet 25 mm bokant die middelpunt van die verhoog teen 20±1 °C, 40–60% RH.
Toepassings
-
Halfgeleierlitografie, inspeksie en waferhantering
-
Mikro-/nano-vervaardiging en presisiemetrologie
-
Hoë-end optiese vervaardiging en interferometrie
-
Lugvaart- en gevorderde wetenskaplike navorsing
Gereelde vrae – Silikonkarbied luglaerstadium
1. Wat is 'n lugdraende stadium?
'n Lugdraende verhoog gebruik 'n dun lagie lug onder druk tussen die verhoog en die geleidingsbaan om te voorsienwrywinglose, slytasievrye en ultra-gladde bewegingAnders as konvensionele meganiese laers, elimineer dit kleefgly, lewer nanometervlak-akkuraatheid en ondersteun langtermynbetroubaarheid.
2. Waarom word silikonkarbied (SiC) vir die verhoogstruktuur gebruik?
-
Hoë styfheid~5× dié van aluminiumlegering, wat vervorming tydens dinamiese beweging tot die minimum beperk.
-
Lae termiese uitbreiding~5× laer as aluminium, wat akkuraatheid onder temperatuurvariasies handhaaf.
-
LiggewigLaer digtheid in vergelyking met staal, wat hoëspoed- en hoëversnellingswerking moontlik maak.
-
Uitstekende stabiliteitSuperieure demping en rigiditeit vir ultra-presisie posisionering.
3. Benodig die verhoog smering of onderhoud?
Geen tradisionele smering is nodig nie, aangesien daargeen meganiese kontakAanbevole onderhoud sluit in:
-
Verskaffingskoon, droë saamgeperste lug of stikstof
-
Periodieke inspeksie van filters en droërs
-
Monitering van kabels en verkoelingstelsels
4. Wat is die lugtoevoervereistes?
-
Doupunt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
-
Deeltjiefiltrasie: ≤ 0.25 μm
-
Skoon, droë lug of 99.99% suiwer stikstof
-
Stabiele druk met minimale fluktuasie
Oor Ons
XKH spesialiseer in hoëtegnologie-ontwikkeling, produksie en verkope van spesiale optiese glas en nuwe kristalmateriale. Ons produkte bedien optiese elektronika, verbruikerselektronika en die weermag. Ons bied saffier optiese komponente, selfoonlensdeksels, keramiek, LT, silikonkarbied SIC, kwarts en halfgeleierkristalwafers. Met bekwame kundigheid en moderne toerusting, blink ons uit in nie-standaard produkverwerking, met die doel om 'n toonaangewende hoëtegnologie-onderneming vir opto-elektroniese materiale te wees.
