4 duim 6 duim Litium niobaat enkelkristal film LNOI wafer
Die voorbereidingsproses van LNOI-materiaal word hoofsaaklik in die volgende vier stappe verdeel
(1) He-ione is ingespuit in die X-gesnyde litiumniobaatmateriaal teen 'n sekere energie, en ingebring in die gebrekkige laag op 'n sekere diepte onder die oppervlaklaag van litiumniobaat;
(2) Die ioon-geïmplanteerde litiumniobaatmateriaal word met 'n oksiedlaag aan 'n silikonsubstraat gebind om 'n bindingstruktuur te vorm;
(3) Die bindingstruktuur is uitgegloei om die defekte wat deur He-iooninplanting ingebring is, te laat ontwikkel en saam te voeg om krake te vorm. Laastens is die litiumniobaat langs die defekte laag geskei om die oorblywende litiumniobaatskywe en LNOI-wafers te vorm.
Toepassings en voordele van LNOI wafer
1 - Litium niobaat piëso-elektriese films (LNOI) het hoë piëso-elektriese koëffisiënt en diëlektriese konstante, wat meganiese energie in elektriese energie of elektriese energie in meganiese energie kan omskakel. Daarom word dit wyd gebruik op die gebied van sensors, soos druksensors, versnellingsensors, temperatuursensors ensovoorts. Daarbenewens kan die litium niobaat piëso-elektriese film ook gebruik word in akoestiese toestelle en vibrasie toestelle, soos piëzo-elektriese keramiek transducer komplekse piëso-elektriese keramiek filter.
2-Die stabiliteit van litiumniobaat piëso-elektriese film is ook een van sy voordele. As gevolg van sy kristalstruktuur stabiliteit en chemiese traagheid, kan litium niobaat piëso-elektriese film werk in hoë temperatuur, hoë humiditeit, sterk suur, sterk alkali en ander harde omgewing, met goeie weerstand teen korrosie en duursaamheid.
3-Lithium niobate piëso-elektriese film is 'n nuwe piëzo-elektriese materiaal met uitstekende werkverrigting en stabiliteit, en het 'n wye toepassingsvooruitsig. Met die voortdurende ontwikkeling van wetenskap en tegnologie, sal litium niobaat piëso-elektriese film in meer stede toegepas word, wat meer gemak en innovasie in mense se lewens bring.