4 duim 6 duim Litium niobaat enkelkristalfilm LNOI-wafer
Die voorbereidingsproses van LNOI-materiale word hoofsaaklik in die volgende vier stappe verdeel
(1) He-ione is teen 'n sekere energie in die X-gesnyde litiumniobatmateriaal ingespuit en op 'n sekere diepte onder die oppervlaklaag van litiumniobat in die defeklaag ingebring;
(2) Die ioon-geïmplanteerde litiumniobatmateriaal word met 'n oksiedlaag aan 'n silikonsubstraat gebind om 'n bindingsstruktuur te vorm;
(3) Die bindingsstruktuur is gegloei om die defekte wat deur He-ioonimplantasie veroorsaak is, te laat ontwikkel en saam te aggregeer om krake te vorm. Laastens is die litiumniobat langs die defeklaag geskei om die oorblywende litiumniobatskyfies en LNOI-wafels te vorm.
Toepassings en voordele van LNOI-wafer
1--Litium niobaat piezo-elektriese films (LNOI) het 'n hoë piezo-elektriese koëffisiënt en diëlektriese konstante, wat meganiese energie in elektriese energie of elektriese energie in meganiese energie kan omskakel. Daarom word dit wyd gebruik in die veld van sensors, soos druksensors, versnellingsensors, temperatuursensors en so aan. Daarbenewens kan die litium niobaat piezo-elektriese film ook gebruik word in akoestiese toestelle en vibrasietoestelle, soos piezo-elektriese keramiek transducerkompleks piezo-elektriese keramiekfilters.
2-Die stabiliteit van litiumniobat-piezo-elektriese film is ook een van sy voordele. As gevolg van sy kristalstruktuurstabiliteit en chemiese traagheid, kan litiumniobat-piezo-elektriese film werk in hoë temperatuur, hoë humiditeit, sterk suur, sterk alkali en ander strawwe omgewings, met goeie korrosiebestandheid en duursaamheid.
3-Litium niobaat piezo-elektriese film is 'n nuwe piezo-elektriese materiaal met uitstekende werkverrigting en stabiliteit, en het 'n wye toepassingsvooruitsig. Met die voortdurende ontwikkeling van wetenskap en tegnologie, sal litium niobaat piezo-elektriese film in meer stede toegepas word, wat meer gerief en innovasie in mense se lewens bring.
Gedetailleerde Diagram


