6 duim 150 mm silikonkarbied SiC-wafers 4H-N-tipe vir MOS- of SBD-produksienavorsing en dummy-graad
Toepassingsvelde
Die 6-duim silikonkarbied enkelkristal substraat speel 'n belangrike rol in verskeie industrieë. Eerstens word dit wyd gebruik in die halfgeleierbedryf vir die vervaardiging van hoë-krag elektroniese toestelle soos kragtransistors, geïntegreerde stroombane en kragmodules. Die hoë termiese geleidingsvermoë en hoëtemperatuurweerstand maak beter hitteverspreiding moontlik, wat lei tot verbeterde doeltreffendheid en betroubaarheid. Tweedens is silikonkarbiedwafels noodsaaklik in navorsingsvelde vir die ontwikkeling van nuwe materiale en toestelle. Daarbenewens vind die silikonkarbiedwafel uitgebreide toepassings op die gebied van opto-elektronika, insluitend die vervaardiging van LED's en laserdiodes.
Produkspesifikasies
Die 6-duim silikonkarbied enkelkristal substraat het 'n deursnee van 6 duim (ongeveer 152.4 mm). Die oppervlakruheid is Ra < 0.5 nm, en die dikte is 600 ± 25 μm. Die substraat kan aangepas word met óf N-tipe óf P-tipe geleidingsvermoë, gebaseer op kliëntvereistes. Boonop vertoon dit uitsonderlike meganiese stabiliteit, in staat om druk en vibrasie te weerstaan.
Deursnee | 150 ± 2,0 mm (6 duim) | ||||
Dikte | 350 μm±25μm | ||||
Oriëntasie | Op as: <0001> ± 0.5° | Van die as af: 4.0° na 1120±0.5° | |||
Politipe | 4H | ||||
Weerstand (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primêre plat oriëntasie | {10-10}±5.0° | ||||
Primêre plat lengte (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
Rand | Afkanting | ||||
TTV/Boog/Verwering (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Voorkant (Si-vlak) | Poolse Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Lemoenskil/pitte/krake/kontaminasie/vlekke/strepe | Geen | Geen | Geen | ||
inkepings | Geen | Geen | Geen |
Die 6-duim silikonkarbied enkelkristal substraat is 'n hoëprestasie materiaal wat wyd gebruik word in die halfgeleier-, navorsings- en opto-elektroniese nywerhede. Dit bied uitstekende termiese geleidingsvermoë, meganiese stabiliteit en hoëtemperatuurweerstand, wat dit geskik maak vir die vervaardiging van hoë-krag elektroniese toestelle en nuwe materiaalnavorsing. Ons bied verskeie spesifikasies en aanpassingsopsies om aan uiteenlopende kliënte-eise te voldoen.Kontak ons vir meer besonderhede oor silikonkarbiedwafers!
Gedetailleerde Diagram

