Gepatroneerde Saffier Substraat PSS 2 duim 4 duim 6 duim ICP droë ets kan vir LED-skyfies gebruik word
Kernkenmerk
1. Materiaaleienskappe: Die substraatmateriaal is 'n enkelkristal saffier (Al₂O₃), met hoë hardheid, hoë hittebestandheid en chemiese stabiliteit.
2. Oppervlakstruktuur: Die oppervlak word gevorm deur fotolitografie en etsing in periodieke mikro-nanostrukture, soos keëls, piramides of seshoekige skikkings.
3. Optiese werkverrigting: Deur die oppervlakpatroonontwerp word die totale weerkaatsing van lig by die koppelvlak verminder, en die ligonttrekkingsdoeltreffendheid word verbeter.
4. Termiese werkverrigting: Saffiersubstraat het uitstekende termiese geleidingsvermoë, geskik vir hoë-krag LED-toepassings.
5. Groottespesifikasies: Algemene groottes is 2 duim (50.8 mm), 4 duim (100 mm) en 6 duim (150 mm).
Hooftoepassingsgebiede
1. LED-vervaardiging:
Verbeterde ligonttrekkingsdoeltreffendheid: PSS verminder ligverlies deur patroonontwerp, wat LED-helderheid en ligdoeltreffendheid aansienlik verbeter.
Verbeterde epitaksiale groeikwaliteit: Die patroonstruktuur bied 'n beter groeibasis vir GaN-epitaksiale lae en verbeter LED-prestasie.
2. Laserdiode (LD):
Hoëkraglasers: Die hoë termiese geleidingsvermoë en stabiliteit van PSS is geskik vir hoëkraglaserdiodes, wat hitte-afvoerprestasie en betroubaarheid verbeter.
Lae drempelstroom: Optimaliseer epitaksiale groei, verminder die drempelstroom van die laserdiode en verbeter doeltreffendheid.
3. Fotodetektor:
Hoë sensitiwiteit: Die hoë ligtransmissie en lae defekdigtheid van die PSS verbeter die sensitiwiteit en reaksiespoed van die fotodetektor.
Wye spektrale respons: geskik vir fotoëlektriese deteksie in die ultraviolet- tot sigbare reeks.
4. Kragelektronika:
Hoëspanningsweerstand: Sapphire se hoë isolasie en termiese stabiliteit is geskik vir hoëspanningskragtoestelle.
Doeltreffende hitteafvoer: Hoë termiese geleidingsvermoë verbeter die hitteafvoerprestasie van kragtoestelle en verleng die lewensduur.
5. RF-toestelle:
Hoëfrekwensie-prestasie: Die lae diëlektriese verlies en hoë termiese stabiliteit van PSS is geskik vir hoëfrekwensie RF-toestelle.
Lae geraas: Hoë platheid en lae defekdigtheid verminder toestelgeraas en verbeter seinkwaliteit.
6. Biosensors:
Hoë sensitiwiteitsopsporing: Die hoë ligtransmissie en chemiese stabiliteit van PSS is geskik vir hoë sensitiwiteitsbiosensors.
Biokompatibiliteit: Die biokompatibiliteit van saffier maak dit geskik vir mediese en biodeteksietoepassings.
Gepatroneerde saffiersubstraat (PSS) met GaN epitaksiale materiaal:
Gepatroneerde saffiersubstraat (PSS) is 'n ideale substraat vir GaN (galliumnitried) epitaksiale groei. Die roosterkonstante van saffier is naby aan GaN, wat roosterwanpassings en defekte in epitaksiale groei kan verminder. Die mikro-nanostruktuur van die PSS-oppervlak verbeter nie net die ligonttrekkingsdoeltreffendheid nie, maar verbeter ook die kristalkwaliteit van die GaN-epitaksiale laag, waardeur die werkverrigting en betroubaarheid van die LED verbeter word.
Tegniese parameters
| Item | Gepatroneerde Saffier Substraat (2~6 duim) | ||
| Deursnee | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| Dikte | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Oppervlakoriëntasie | C-vlak (0001) hoekafwyking na M-as (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C-vlak (0001) skuins na die A-as (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Primêre Plat Oriëntasie | A-vlak (11-20) ± 1.0° | ||
| Primêre plat lengte | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-Vliegtuig | 9-uur | ||
| Voorste oppervlakafwerking | Gepatroneer | ||
| Agteroppervlak afwerking | SSP: Fyngeslyp, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi-gepoleer, Ra<0.3nm | ||
| Lasermerk | Agterkant | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BOOG | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Randuitsluiting | ≤2 mm | ||
| Patroonspesifikasie | Vormstruktuur | Koepel, Keël, Piramide | |
| Patroonhoogte | 1.6~1.8μm | ||
| Patroondiameter | 2.75~2.85μm | ||
| Patroonruimte | 0.1~0.3μm | ||
XKH spesialiseer in die verskaffing van hoëgehalte, pasgemaakte patroon-saffiersubstrate (PSS) met tegniese ondersteuning en na-verkope diens om kliënte te help om doeltreffende innovasie op die gebied van LED, skerms en opto-elektronika te bereik.
1. Hoë kwaliteit PSS-voorraad: Gepatroneerde saffiersubstrate in 'n verskeidenheid groottes (2 ", 4 ", 6 ") om aan die behoeftes van LED-, skerm- en opto-elektroniese toestelle te voldoen.
2. Gepasmaakte ontwerp: Pas die oppervlak-mikro-nanostruktuur (soos keël, piramide of seshoekige skikking) aan volgens die kliënt se behoeftes om die ligonttrekkingsdoeltreffendheid te optimaliseer.
3. Tegniese ondersteuning: Verskaf PSS-toepassingsontwerp, prosesoptimalisering en tegniese konsultasie om kliënte te help om produkprestasie te verbeter.
4. Epitaksiale groeiondersteuning: PSS wat met GaN-epitaksiale materiaal gepas is, word verskaf om hoëgehalte-epitaksiale laaggroei te verseker.
5. Toetsing en sertifisering: Verskaf 'n PSS-gehalte-inspeksieverslag om te verseker dat produkte aan bedryfstandaarde voldoen.
Gedetailleerde Diagram
