50.8mm 2duim GaN op saffier Epi-laag wafer
Toepassing van galliumnitried GaN epitaksiale plaat
Gebaseer op die werkverrigting van galliumnitried, is galliumnitried-epitaksiale skyfies hoofsaaklik geskik vir hoëkrag-, hoëfrekwensie- en laespanningstoepassings.
Dit word weerspieël in:
1) Hoë bandgaping: Hoë bandgaping verbeter die spanningsvlak van galliumnitriedtoestelle en kan hoër krag lewer as galliumarseniedtoestelle, wat veral geskik is vir 5G-kommunikasiebasisstasies, militêre radar en ander velde;
2) Hoë omskakelingsdoeltreffendheid: die aanskakelweerstand van galliumnitried-skakelende kragelektroniese toestelle is 3 ordes van grootte laer as dié van silikontoestelle, wat die aanskakelverlies aansienlik kan verminder;
3) Hoë termiese geleidingsvermoë: die hoë termiese geleidingsvermoë van galliumnitride maak dit uitstekende hitte-afvoerprestasie, geskik vir die produksie van hoë-krag, hoë-temperatuur en ander velde van toestelle;
4) Deurslag-elektriese veldsterkte: Alhoewel die deurslag-elektriese veldsterkte van galliumnitried naby aan dié van silikonnitried is, is die spanningstoleransie van galliumnitriedtoestelle gewoonlik ongeveer 1000V, en die veilige gebruikspanning is gewoonlik onder 650V, as gevolg van die halfgeleierproses, materiaalroosterwanpassing en ander faktore.
Item | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
Afmetings | e 50.8mm ± 0.1mm | ||
Dikte | 4.5±0.5 um | 4.5±0.5um | |
Oriëntasie | C-vlak(0001) ±0.5° | ||
Geleidingstipe | N-tipe (Ongedoteerd) | N-tipe (Si-gedoop) | P-tipe (Mg-gedoteer) |
Weerstand (3O0K) | < 0.5 Q・cm | < 0.05 Q・cm | ~ 10 Q・cm |
Draerkonsentrasie | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
Mobiliteit | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs | ~ 10 cm2/Vs |
Ontwrigtingsdigtheid | Minder as 5x108cm-2(bereken deur FWHM's van XRD) | ||
Substraatstruktuur | GaN op Sapphire (Standaard: SSP Opsie: DSP) | ||
Bruikbare Oppervlakte | > 90% | ||
Pakket | Verpak in 'n klas 100 skoonkameromgewing, in kassette van 25 stuks of enkelwafelhouers, onder 'n stikstofatmosfeer. |
* Ander dikte kan aangepas word
Gedetailleerde Diagram


